1 微流控金属材料材料
金属流道，PDMS流道，包括不锈钢和钛。
2 制备方式
2.1 机加工
金属微流控芯片的金属流道zui小流道宽度：0.2mm，深宽比1：1，加工精度±20um
2.2 电火花加工
金属微流控芯片的金属流道zui小流道宽度：0.1mm，深宽比1：1，加工
微流控芯片是一种小型芯片，可以用于进行生物医学实验和分析。安装微流控芯片需要遵循特定的步骤，以确保其正确安装并能够正常工作。首先，需要清洁微流控芯片和安装设备，以防止污染和杂质影响实验结果。然后，需要将微流控芯片插入安装设备中，通常需要使用特殊的夹具或工具来固定芯片。在安装过程中，需要确保芯片的位置正确，以确保液体流动的准确性。，需要进行校准和测试，以确保芯片的性能和准确性。在整个安装过程中，需要特别小心，以防止芯片损坏或污染。
1.4 玻璃和聚合物材料对比
2 加工方式2.1 湿法腐蚀流道深度20um以上加工xiao率高，深宽比2:1以上。
玻璃芯片微细加工技术的基本过程包括涂胶、曝光、显影、腐蚀、去胶等步骤，根据流道条件可以选择湿法腐蚀和干法刻蚀，湿法腐蚀具有各向同性，干法刻蚀具有各向异性，目前，微流道玻璃芯片zui长用的是玻璃的湿法腐蚀。
玻璃湿法腐蚀流程：
2.2 激光加工
皮秒激光加工，流道线宽200um以上，精度要求低。
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