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涡轮分子泵抽气系统。涡轮分子泵可以串联干式机械泵组成无油超高真空系统,不烘烤可以实现10-6Pa的真空度,经烘烤可以达到10-8Pa的真空度。如果串联扩散泵作为前级泵,降低前级管道中的氢分压,配合钛升华阱可以获得高于10-9Pa以上的真空度。由于涡轮分子泵内表面积大,因此烘烤除气是非常必要的,但烘烤温度一般只允许到100℃左右。瓦里安分子泵养护
由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸汽被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,瓦里安进口分子泵维修电话,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵,以满足不同场合的需要。
螺杆真空泵运行,除了要确保正确的操作方法,以及定期的维护保养外,还要做好润滑工作,定期为其添加或者更换润滑油。但是在换油之后有几个常见的问题要跟大家说一下。
一、进气口长时间抽大气,应加以避免。
二、真空度偏低:
1、螺杆真空泵腔内及油中是否混入其它轻质液体,新换油后应适当运转一段时间。
2、检查各密封部分是否有漏气现象,校对好检测仪表。瓦里安分子泵养护
三、出气口有雾现象:检查进气口及其它部分是否有漏气。
四、出气口有喷油现象:油加的过多,减少油的加入量,进气口长时间抽大气,应加以避免。
以上这几个就是螺杆真空泵在换油之后常见的几种问题,用户应尽量避免。如果遇到问题,也不要慌,可以参照以上方法来进行调整处理,及时解决。瓦里安分子泵养护
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广州潽拓光电科技有限公司——瓦里安进口分子泵维修电话 高真空分子泵维修
机械泵由电机和泵体两大部分组成。普通型机械泵由电机通过皮带带动泵轴旋转;直连型机械泵是电机直接与泵轴连接,无中间传动环节。机械泵是利用气体膨胀、压缩、排出的原理,把气体从容器里抽出的。 高真空分子泵维修,之所以称之为机械泵,是因为它是利用机械的方法,周期性地改变泵内吸气腔的容积,使容器中的气体不断地通过泵的进气口膨胀到吸气腔中,然后通过压缩经排气口排出泵外。 高真空分子泵维修
改变泵内吸气腔容积的方式有活塞往复式、定片式和旋片式,分别称为往复式机械泵、定片式机械泵和旋片式机械泵。由于实际应用中,旋片式机械泵使用较多,高真空分子泵维修
分子泵的油和密封件也是保养的重要部分。油的质量和密封件的状态会直接影响分子泵的性能和寿命。因此,定期更换油和密封件是非常必要的。 高真空分子泵维修
检查和维护的内容包括:
1.检查泵内的油面高度是否正常,如果不正常需要及时加油。
2.检查泵内的密封件是否正常,如果有损坏需要及时更换。
保养时需要按照厂家的要求进行操作,不要随意更改或拆卸设备。
2.保养时需要注意安全,避免发生意外事故
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广州潽拓光电科技有限公司——瓦里安进口分子泵维修电话分子泵控制器报警
分子泵控制器是为分子泵提供动力的设备,一般具有转速控制、电流检测、温度检测、故障报警等功能
大多数泵制造商建议至少每3000小时更换一次机油。然而,对于要求更高的应用,每周或每月更换润滑油并不罕见,在*严重的情况下,甚至在每个作业周期后更换润滑油。*常见的油需要更换的指标表面是否呈黑色,有或没有颗粒的迹象;进气阀关闭时泵无法达到其*终真空状态;表面呈乳白色,表明系统中存在水/湿气。分子泵控制器报警
更换机油前,建议将泵运转几分钟,然后关闭。热的时候,油会流得更。如果排出来的油很脏,你可以考虑重复这个过程,直到它运行清除。在换油期间,建议定期排出少量油,并将其与清洁油的试管进行比较,以作为参考。然后可以评估颗粒的颜色、清晰度和数量。污染油的症状包括无法达到极限真空,噪音过大,*终导致泵损坏和故障。分子泵控制器报警
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