因发现氧而获得的荣誉由3位化学家分享：一个英国人，一个瑞典人，还有一个法国人。约瑟夫·普里斯特利是发布氧元素声明的人，超纯氧气生产，在1774年由聚焦阳光到氧化gong（HgO），超纯氧气供应，然后收集释放出的气体实现。他注意到蜡烛在这里燃烧的更明亮了，而且能使呼吸变得更简单。
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总之，由于氮气和氧气的膜分离法的崛起，中小规模的深冷空分装置已开始让出一部分市场。目前，膜法的主要缺点是产品浓度不够高、回收率较低，这要通过改进吸附剂和高分子膜来克服。
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从严格意义上讲，发现氧元素的为瑞典化学家舍勒，永年超纯氧气，而确定氧元素化学性质的为法国化学家拉瓦锡。 在1608年，Cornelius Drebbel证明了加热硝石（xiao酸钾，KNO?）能释放气体。这就是氧气，然而并没有对它进行鉴定。
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