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工作原理

    涡轮分子泵转子是一个带叶片的涡轮，快速旋转的叶片将动量传输给气体分子，将起初无方向性的热运动变成有定向运动。

    涡轮分子泵的抽气过程就是使气体分子从进气口法兰定向运动到前级真空口。

     在分子流范围——也就是在低于10-3mbar(0.75x 10-3Torr)的压强时，气体分子的平均自由行程大于转子与定子叶片之间的间距(典型为十分之零点几毫米)，分子主要与转子叶片碰撞，所以

抽气过程非常。

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主要产品包括：旋片式真空泵、罗茨泵、干式螺杆泵、扩散泵、分子泵、低温泵、真空系统、定制化真空系统、真空仪表、氦质谱检漏仪、真空阀门及连接件等。