正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
真空泵厂家机械安装⑴真空泵应安装在地面结实坚固的场所，周围应留有充分的余地，便于检查、维护、保养。⑵真空泵底座下应保持地基水平，底座四角处建议垫减震橡皮或用螺栓浇制安装，确保真空泵运转平稳，振动小。⑶真空泵与系统的连接管道应密封可靠，对小真空泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶，对小真空泵可采用真空胶管连接，管道管径不得小于真空泵吸气口径，且要求管路短而少弯头。（焊接管路时应清除管道中焊渣，严禁焊渣进入真空泵腔。）
冷凝水的影响: 冷凝水在多级真空泵中具有无足轻重的位置, 为了包管冷凝水可以将蒸汽充沛冷凝, 真空泵排出压力中的水蒸汽分压有必要高于其所对应的饱满蒸汽压, 所以冷凝水的温度也要低于该压力下的饱满温度, 才干包管泵体的正常作业。别的, 冷凝器的冷凝功率也是十分要害的, 冷凝器的冷凝作用差, 会使蒸汽因来不及冷凝而直接进入下一级泵, 加大后级泵的负荷, 影响泵的抽气才能。为此,冷凝水的进口温度, 流量及冷凝器的运用情况对泵的功能均有很大的影响。
