化合物半导体材料硅是制作微机电器件和装置的主要材料
四、化合物半导体材料 硅是制作微机电器件和装置的主要材料。为了提高器件和系统的性能以及扩大应用范围，化合物半导体材料在某些专门技术方面起着重要作用。如在红外光、可见光及紫外光波段的成像器和探测器中，PbSe、InAs、Hg1-xCdxTe(x代表Cd的百分比)等材料得到日益广泛的应用。 现以红外探测器为例加以说明。利用红外幅射与物质作用产生的各种效应发展起来的，实用的光敏探测器，主要是针对红外幅射在大气传输中透射率为清晰的3个波段（1-3μm，3-5μm，8-14μm）研制的。对于波长1-3μm敏感的探测器有PbS、InAs及Hg0.61Cd0.39Te；对于波长3-5μm敏感的探测器有InAs、PbSe及Hg0.73Cd0.27Te；对于波长8-14μm敏感的探险测器则有Pb1-xSnxTe、Hg0.8Cd0.2Te及非本征（掺杂）半导体Ge:Hg，正压送风压力传感器设备，Si:Ga及Si:Al等。其中3元合金Hg1-xCdxTe是一种本征吸收材料，通过调整材料的组分，不仅可以制成适合3个波段的器件，消防正压送风压力传感器，还可以开发更长工作波段（1-30μm）的应用，因而备受人们的关注。 须指出的是，上述材料需要在低温（如77K）下工作。因为在室温下，由于晶格振动能量与杂质能量的相互作用，使热激励的载流子数增加，而激发的光子数则明显减少，从而降低了波长区的探测灵敏度。
压力传感器是工业实践中为常用的一种传感器，其广泛应用于各种工业自控环境，涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业，下面就简单介绍一些常用传感器原理及其应用，压电式传感器也广泛应用在生物医学测量中，比如说心室导管式微音器就是由压电传感器制成的，因为测量动态压力是如此普遍，所以压电传感器的应用就非常广。
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