




广州潽拓光电科技有限公司——阿尔卡特进口分子泵 分子泵养护
在罗茨真空泵中吸入气体被压缩的过程不是连续的,而是突然的。吸入气体随转子转动而被封闭于腔内,又随转子的旋转,使腔内的气体突然与排气口接通。由于排气一侧的气体压力较高,排气口处的气体就向腔中返冲,然后又随着转子的旋转而被驱赶排出泵外。这样的过程在每旋转一周中两个转子共进行四次排气过程。分子泵养护
虽然水泵的扬程是指两个水面的高度差,实际上还要受到管道阻力的影响,管道阻力就会减去一部分扬程。
对离心泵来说,它有三个扬程:实际吸水扬程、实际压水扬程和实际扬程,在没指明的情况下,一般认为扬程是指两水面的高度差。
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广州潽拓光电科技有限公司——阿尔卡特进口分子泵 化工泵维修
磁悬浮分子泵是利用磁力作用将转子悬浮于空中使转子和定子无接触运转。
其特点如下:
(1)不用任何润滑油,可实现完全无油化。
(2)由于转子与定子之间没有机械接触,轴承的寿命非常长。
(3)与传统轴承相比,转子可运行到很高的转速。
(4) 振动与噪声很低。化工泵维修
(5) 泵的安装姿态不受限制,可任意角度安装。
(6)转子采用高强度铝合金,一次高速铣削成形
(7)自平衡技术振动ji小
相比普通分子泵,它的轴承不需要润滑,所以可以排除油污染。
脂润滑分子泵特点:轴承用油脂润滑。
通常情况下有效粘度低,蒸汽压极低的轴承用油脂,使涡轮分子泵避免了在抽气时或放大气时都要小心,尤其当转子在高速工作时以免高速流动的油进到入口处。
蒸汽的影响:咱们所用的真空泵为蒸汽喷发真空泵,是以过饱满水蒸汽为作业介质的,蒸汽的状况对泵的功能有决定性的影响。湿蒸汽不只影响泵的功能,还会腐蚀蒸汽喷唬,添加泵的蒸汽用量,使泵的作业状況变得不稳定;
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广州潽拓光电科技有限公司——阿尔卡特进口分子泵 磁悬浮涡轮分子泵维修
含加热模块的磁悬浮分子泵主要用于半导体制造设备,在集成电路刻蚀等工艺过程中,部分工艺气体容易冷却凝结,附着在分子泵转子及内壁,阿尔卡特进口分子泵供应商,造成分子泵转子不平衡量增大或抽气通道阻塞,广东省阿尔卡特进口分子泵,影响分子泵的稳定运行。加上加热模块可以适当提高泵体温度,降低工艺气体凝结,阿尔卡特进口分子泵维修及保养,提高分子泵稳定性及寿命。 磁悬浮涡轮分子泵维修
我们所称呼的“质谱仪单元”是氦气检漏仪的核xin部分。气体从检漏 仪的入口被导入质谱仪单元。在这里用高能量的电子束对带电的气 体粒子进行撞击 电子束利用金属丝在高温下产 生。如果中性气体粒子层的电子被撞击,阿尔卡特进口分子泵维护,它会从电子层脱出。结 果,带正电的气体粒子—离子—留了下来。大部分导入的气体粒子被电子之间的碰撞电离。 磁悬浮涡轮分子泵维修
分子泵的工作区间是有限制的,*大启动压强也要在100pa,直接大气启动只会长期处于过载状态运行,并无抽气效果。 磁悬浮涡轮分子泵维修
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