




氦质谱检漏仪的检漏方式有那些
氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种,一种为常规检漏,另一种为逆扩散检漏。
逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端,漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有不同压缩比(气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比)即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。
氦质谱检漏仪逆扩散原理
逆扩散方式检漏允许被检件内压强较高,氦质谱检漏仪可达1000Pa(一般常规检漏仪为0.05Pa以下),适合检大型容器或有大漏的器件,也适合吸检漏。逆扩散方式还具有质谱管不易受污染,灯丝寿命长等优点。
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氦气检漏
氦质谱检漏的检测精度高,可达到1×10-7Pa·m3/s。电池氦检前先将电池里的空气抽掉,然后注入氦气,用氦质谱检漏仪探测有没有氦气漏出,从而判断电池的气密性是否完好。电池氦检一般为两种方式:一种是在电池生产的中间环节,汽车空调检漏系统,即在电池烘干注液之前进行检漏,电芯在真空箱内充氦气及检测,此法可以检测电池盖板、盖板焊接及电芯壳体等部位的气密性是否达标;另一种是在成品环节检漏,电芯在箱外充氦,电芯注入电解液的同时将氦气充入电芯内部,然后将电池放入真空箱内进行检漏。
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氦质谱检漏仪的注意事项
检漏仪的响应时间会影响检漏工作的速度,正常运行的仪器响应时间不大于3s。笔者实测时,在漏点处喷射氦气5~10s后,检漏仪就发生响应,对于如此庞大的真空系统,其反应是相当的灵敏。
检漏时喷在漏孔处停留的时间应为仪器响应时间的3倍,该时间再加上氦气在真空系统中的传递时间,即为两次喷氦的较小间隔时间,当然真空系统越庞大,该间隔时间也越长。笔者根据实测经验,两次喷氦的较小间隔时间控制在30s左右,即如果次喷氦后30s内检漏仪还没有反应,则可进行第二次喷氦。
清除时间在理论上与响应时间相同,但由于仪器零件对氦的吸附和脱附作用的影响,清除时间一般要更长些。笔者测算,在测试到数量级为10-9P a ?m3/s的微漏漏点时,清除时间约须1分钟;在测试到数量级为10-8P a ? m3/s的中漏漏点时,清除时间约须2分钟;在测试到数量级为10-7Pa?m3/s的大漏漏点时,清除时间在3分钟左右。
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