








石英挠性加速度计是一种基于石英挠性支承技术的加速度传感器,石家庄加速度计,具有高精度、稳定性好和环境适应性强等特点。?它通过力平衡式传感器工作,能够测量物体的加速度,并将其转换为电信号输出。石英挠性加速度计在惯性导航、航空航天、车辆动态控制以及各类精密测量系统中有着广泛的应用。?
石英挠性加速度计的主要组成部分包括石英摆片组件、电容式传感器和伺服控制系统。其工作原理基于牛顿运动定律,通过检测摆片在空间中所受的合力来计算加速度。与传统的液浮摆式加速度计相比,石英挠性加速度计具有更高的精度、更强的抗干扰能力和更广的测量范围。此外,石英材料的优异性能使得这种加速度计在温度变化下的稳定性更好。
石英挠性加速度计的优点包括高精度、频率响应范围广(可达500Hz)、结构简单且成本低廉。然而,其标度因数的温度系数较大,通常为0.016%左右,这需要通过温度补偿或恒定工作环境温度来解决。
如何选择石英挠性加速度计
选择石英挠性加速度计需要考虑以下几个关键因素?:?应用场景?:?船用?:尤其是用于水下,石英加速度计哪家好,对姿态的要求较高,要求惯性导航设备运行时间长,因此需要选用精度较高的产品。INNALABS和Honeywell的石英挠性加速度计偏置稳定性和标度因数稳定性很高,符合此类选型?。?航空航天用?:此类导航系统大多数连续运行时间短,精度要求低,但需要较大量程。可选用INNALABS的相关型号?1。?性能指标?:?灵敏度(比例因子或标度因数)?:这是传感器电输出和机械输入之间的比率,石英加速度计 厂家,通常用mV/g或pC/g表示。灵敏度受温度影响,石英光学加速度计,通常在25±5°C范围内有效。制造商通常会提供校准报告,列出了准确的灵敏度值?2。?幅值线性度?:测量加速度计在幅值范围内的输出线性度的好坏。理想情况下,加速度计在幅值范围内的任一幅值点的灵敏度输出应该完全一样,但实际情况会有偏差。幅值线性度通常定义为读数的百分比,通常为整个范围内±1%?2。?品牌和型号?:?INNALABS?:其产品如QA-3000, QA-2000, INN-202, INN-203, INN-204等,具有高偏置稳定性和标度因数稳定性,适合高精度要求的应用?。?Honeywell?:其石英挠性加速度计也具有高精度和稳定性,适合各种应用场景?。

石英挠性加速度计是一种精密测量设备,其制作工艺主要包括以下几个步骤:
1.材料准备:选用高质量的单晶硅或石英晶体作为基础材料,因其优异的机械性能和稳定性。
2.晶体切割:将选定的晶体按照设计要求进行切割,形成薄而柔韧的薄片,即挠性基片。
3.薄膜沉积:在基片上沉积一层或多层敏感膜,如压电材料,使其能够将加速度转化为电信号。
4.制作敏感结构:通过光刻技术,地在薄膜上形成微米级的敏感梁或悬臂结构,这些结构对微小的加速度变化非常敏感。
5.接线和封装:将电极连接到敏感结构,然后将其封装在防震、防尘的外壳内,以保护内部元件不受外界干扰。
6.精度调整与测试:通过精密的工艺调整,确保各部分的精度,并进行的性能测试,包括静态和动态特性测试。
整个过程需要高精度的设备和严格的工艺控制,以保证石英挠性加速度计的高精度和可靠性。
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