氦质谱检漏系统是一种用于检测和测量微小泄漏的设备，主要用于航空航天、汽车制造等领域。它利用高纯度惰性气体——氦气作为示踪剂，通过收集和分析从泄释放出来的氦气来定位并定量测量的实际物理参数值的大小与位置。
该系统的应用范围广泛且多样化：在飞机发动机上可以检查油箱是否存在渗漏；对密封条橡胶制品中的缺陷及龟裂等进行检验，充氦回收设备，以评价轮胎质量的好坏等。此外，还可以用来确定真空器件或容器法兰结合面的严密情况;在半导体行业可监控半导体制程中可能出现的问题等等方面有着重要的作用。
检漏系统是一种用于检测泄漏的自动化设备，它可以通过多种方式来检查液体或气体的泄露。该系统的部分是一个传感器模块和一个控制单元，它们协同工作以实现准确的测量和数据处理。
传感器的设计可以针对不同类型的气体进行优化调整，如选择适当的感应器、调节响应时间等参数以满足特定应用的需求。此外，控制系统还具有自我保护功能以确保操作员的安全性以及设备的长期稳定性与可靠性。例如：当发生气体外泄时，控制器会立即启动警报装置并关闭阀门；同时通过数据记录仪保存有关报警的数据以便日后查询和分析。
氦检漏系统主要是利用二次元示波器来检测压力容器的泄漏，其工作原理是通过电子流量计测量出一定时间内通过测试工件的气体体积和气体密度。然后根据标准大气压下气体的压缩公式：PV=RT，计算出被测产品的内压力值.
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