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广州潽拓光电科技有限公司——varian分子泵维修维护真空机组维修

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多级罗茨真空泵是干式罗茨真空泵中的一种，在美日等国家较多的应用与半导体及化工行业。它的“多级”是相对于传统的一个转子的“单级”罗茨真空泵而言，形式上多个转子串联，中间由中间壁隔离形成多个相对独立的泵腔，各级泵腔通过各级的进气口与排气口相连形成气流通道。各级转子的直径和形状是相同的，但是宽度有可能相同也可能不同。不同的话高压侧方会变窄。真空机组维修

是真空机组的抽气能力不够还是漏率高；或者两者兼而有之，需要耐心观察和记录，从中找出故障原因，比如，抽空时间相同，而真空度偏低，这时候，关闭高压阀，如真空计指针很快下降，多数情况是真空室漏了，应先查出漏点。如真空计指针下降很慢，多数情况是真空机组抽气能力不够，这时可将重点放到查找真空泵及阀门的问题上，看是哪里出现了泄漏，或是扩散泵油被污染了，氧化了等；或是前级管路密封不好，泵油不足；或是泵有油乳化，轴封漏油，阀片损坏等故障。真空机组维修

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6、 设备的保养事项：a、要使用合适的清洁布和溶剂；b、不要使用刀片，以免刮伤密封件和密封面；c、腔体内部主要有残余的镀层和粉尘；e、真空管路的粉尘清洁；f、滤芯的清洁和更换，varian分子泵维修维护，粉尘不要掉入泵油里面；g、清洁人员个人穿戴防护用品。 高真空分子泵维修

7、 检修事项：a、泵及管路的检修，同时要注意真空计的零位核准，当真空计的零位有漂移时，会严重影响抽空的时间；b、推荐用一把螺丝刀，刀尖靠着泵体，刀把靠近耳朵，可以听出泵的轴承运行的噪音是否正常。c、突然断电，对于磁悬浮分子泵，其安全轴承的寿命只有5次，超过了要马上更换安全轴承，高真空分子泵维修

卡死总是发生在转子、旋片与端面或中隔板之间或转子与泵腔之问，而这些部位正是决定一台真空泵的极限压强的关键部位，所以，一发生卡死现象，就要紧急停泵，排除故障，妥善修理，千万不可再试车甚至蛮干，否则很易造成全泵报废，无法修复。 高真空分子泵维修

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溅射离子泵无油超高真空系统。此系统是获得清洁超高真空的主要手段，可以获得10-9Pa的真空度，一般由溅射离子泵、钛升华泵与分子筛吸附泵或者是与涡旋泵、液氮阱等共同组成，可以获得清洁的无油超高真空系统。由于溅射离子泵的启动压力在1Pa以下，而且对有机蒸汽敏感，因此在使用时需要对其进行*底的烘烤除气，并用预抽泵抽走烘烤释放出的气体。

  在安装泵之前，应在进气口和出气口打开的情况下检查电机旋转方向。从电机端看，驱动轴应逆时针旋转。注意电机或外壳上指示旋转方向的箭头。如果电机转向错误，可以通过在电机连接端子块上互换两相来纠正。

  电机功率、转速是和真空泵相匹配的，不能更改。风扇安装于电机主轴上，电机转速决定了风扇转速，也不可更换。增加风扇叶片数量虽能起到一定作用，但叶片数量增加后，动平衡不容易找，如找正不好，会引起电机振动增加

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