氦质谱检漏仪检漏原理及方式：氦质谱检漏仪的检漏方式，氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有不同压缩比(气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比)即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。逆扩散原理：逆扩散方式检漏允许被检件内压强较高，氦质谱检漏仪可达300Pa(一般常规检漏仪为0.05Pa以下)，适合检大型容器或有大漏的器件，也适合吸检漏。逆扩散方式还具有质谱管不易受污染，灯丝寿命长等优点。
生产厂家为了提高产品质量于是采用“浸水检漏”来发现不合格工件，宿迁板，这就是通常所说的“水检”，这种检测工艺已经有了近百年的历史。七十年代中后期，一些工业技术发达forbidry为了克服“水检”工艺存在对工件的后续作业带来的一些弊病，先后开始研究代替“水检”的新工艺、新设备。九十年代初，用洁净干燥空气作为工作介质对工件的容腔，比如：摩托车的发动机缸体、汽车的发动机缸体、散热器、刹车系统、蒸发器、灯具，石墨双极板，摄像头等进行密封性能检测的工艺已经成熟，膜电极，并有一些相应的检测设备陆续问世。这就是气密性检测设备的发展历史。
严格地讲，任何真空系统都有漏气现象存在，漏气是一定的。针对不同的真空系统，电堆，可以容许有一定的漏率。目前的真空技术，可以确保超高真空系统的容许漏率≤1.33×10-11Pa.m3/s。真空检漏已经成为真空系统制作和使用中不可缺少的环节。真空检漏的方法多种多样，比较具代表性的氦质谱检漏和四极质谱仪残留气体分析。
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