高压电源是设备的关键技术之一，它主要为电子提供加速电压，其性能好坏直接决定电子束焊接工艺和焊接质量。电子束焊机用高压电源与其它类型的高压电源相比，具有不同的技术特性，技术要求主要为纹波系数和稳定度，纹波系数要求小于1%，稳定度为±1%，甚至纹波系数小于0.5%，稳定度为±0.5%，同时重复性要求小于0.5%。以上要求均根据电子束斑和焊接工艺所决定。
脉冲源主要由高压电源及调制器部分组成，高压电源采用开关稳压电源，调制器采用半导体器件的固态调制器。使用方给出的触发脉冲是TTL电平的信号，应在输入隔离变压器前增加接口电路，此接口电路一是为了预放大TTL脉冲信号，二是为了与隔离变压器匹配。为了达到隔离的目的，使用方可提供此接口电路的电源，制造方只需提出电源需求并在电路中设计相应的变换、滤波电路即可。
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