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莱宝Leybold turbovac MAG W 3200涡轮分子泵
TURBOVAC MAG W 3200 C/CT常用于半导体工业使用的涡轮分子泵。在半导体工业,涡轮分子泵用于以下应用场合:- 蚀刻;- 溅射;- 离子注入;- CVD;- 光刻。这些应用中,经常需要抽除腐蚀性气体。需要使用配有吹扫气体设备的磁悬浮分子泵,以免轴承损坏。尤其对于金属蚀刻,涡轮分子泵的泵内可能发生沉积现象, 选用带温度控制的扩展附件在MAG 1500 C、MAG 2000 C、MAG2800和MAG 3200可以防止这种情况。与机械轴承涡轮分子泵相比,磁悬浮泵的优势在于气体流量较大时可以防止轴承过热,莱宝分子泵维修多久,能够有效地防止腐蚀性介质对磁悬浮轴承的损坏。
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Leybold TMP50德国莱宝分子泵进气法兰口DN40KF/DN63ISO-K/DN63CF,出气法兰口DN16,分别抽速可达到33 l/s /55 l/s ,转速为72000rpm,对应的控制器为Leybold NT10 NT12
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