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光刻靶的应用还具有重要的教育意义。光刻靶技术作为现代科技的重要成果之一，其研究和应用过程涉及到多个学科领域的知识和技能。通过学习和研究光刻靶技术，可以培养人们的创新思维和实践能力，提升他们的科技素养和综合素质。同时，光刻靶技术的应用也为高校和科研机构提供了丰富的教学和科研资源，有助于推动人才培养和科技创新的深度融合。
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