




高纯氩气无色无味无毒气体。化学性质很不活泼,未形成任何化合物。今天来带大家简单了解一下高纯氩气的特点及用途。
高纯氩气在半导体工业中用作生产高纯硅和锗晶体的保护气体;可用作系统清洗、屏蔽和增压用的惰性气体;在化学气相沉积、溅射和退火等工艺中有所应用。高纯氩气也可作为色谱载气。
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科研领域里,高纯氩气是科研人员探索未知的好帮手。
在材料研究中,为模拟特殊的宇宙环境,常利用高纯氩气营造无氧、无水汽的惰性空间。例如在研究新型超导材料时,在高纯氩气保护下制备样品,可排除外界干扰,准确获取材料特性。在分析测试实验中,如在电感耦合等离子体质谱仪中,高纯氩气作为工作气体,帮助将样品离子化并传输,保证分析结果的准确性,助力科研人员在物理、化学、材料科学等多领域取得突破。
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高纯氩气在哪些高科技领域有重要应用?
高纯氩气在诸多高科技领域发挥关键作用。
在半导体制造中,它是一种重要的保护气体。在芯片制造的光刻、刻蚀等工艺过程中,高纯氩气能防止芯片材料与氧气等发生反应,确保高精度加工。例如,在12英寸晶圆的制造过程中,氩气可提供稳定的加工环境。
在光纤制造领域,高纯氩气用于光纤拉丝过程。通过营造无氧环境,避免光纤材料氧化,提高光纤的质量和性能,保障光信号的快速传输。同时,在一些材料的真空镀膜工艺中,高纯氩气作为载气,帮助材料均匀地沉积在基底上,用于制造性能好的光学薄膜等。
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