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受激发的样品中的每一种元素会出二次X射线（又叫X荧光），并且不同的元素所出的二次X射线具有特定的能量特性或波长特性。探测系统测量这些出来的二次X射线的能量及数量或者波长。
X 射线荧光光谱仪也是野外现场分析和过程控制分析等方面仪器之一。中文名X射线荧光分析仪检出下限Cd/Pb/Hg/Br/Cr≤5ppm样品形状大460×380mm(高150mm)适用对象塑料/金属/纸/涂料/油墨/液体，在测定微量成分时，由于X射线管的连续X射线所产生的散射线会产生较大的背景，致使目标峰的观测比较困难。为了降低或消除背景和特征谱线等的散射X射线对高灵敏度分析的影响，此荧光分析仪配置了4种可自动切换的滤光片，哈尔滨XRF光谱仪，有效地降低了背景和散射X射线的干扰，调整出具感度的辐射，进一步提高了S/N的比值，从而可以进行更高灵敏度的微量分析。
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