通过外部检漏通常都会解决，但在多遍检漏后问题若是仍然存在，我们就应该考虑是否存在内部漏点。笔者发现，内漏大多来源于各种充气阀。若要验证，可以在阀门保持关闭的状态下，将阀门的保护气体一端法兰打开- -缝隙，充入氦气检查是否漏气，若不漏气，再将阀门连接好后立即充入保护气体到管路中，如果这时检漏仪漏率值上升，那么就可以确定充气阀泄漏是真空指标不合格的原因。
化锂吸收式制冷机是以热能为动力，电力行业检漏设备，水和化锂水溶液为工质对的低耗电，低噪音的环保型制冷机。利用水在真空状态下，较低温度就可以蒸发的原理，制取冷水。主要有蒸汽型，燃油型，高低温水型，高温水大温差型，冷温水同时供给型，广泛用于楼宇，制造行业的制冷采暖系统。化锂吸收式制冷机对于机体内部气密性要求很高，若机体内部有微量的不凝性气体，会对机器性能产生严重影响。在制冷量严重降低的同时，容易对机体产生巨大的腐蚀，产生铁锈，铜锈并容易对喷嘴，泵体，过滤器造成堵塞。所以对于化锂吸收式制冷机来说，检漏是的。
真空检漏的具体方法为了方便说明真空检漏方法，我们以真空炉为例进行真空检漏。真空炉主要由机械泵、罗茨泵、扩散泵、前级管路、炉体等几部分组成。真空炉的生产中为常见问题是极限压力合格，而升压率不合格，或者是两者都不合格，比较少见的是升压率合格但极限压力不合格。(1)极限压力合格，升压率不合格极限压力合格说明设备没有明显漏点，且真空系统的抽气性能正常。升压率不合格，主要原因是从粗抽阀到炉体有-些较小的漏点，通常在1x10-9~9.9x104pa.m3/s之间。
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