**石英挠性加速度计通用规范**
石英挠性加速度计是一种基于石英材料挠性支撑结构和差动电容检测原理的高精度惯性传感器，广泛应用于航空航天、惯性导航、精密仪器及工业控制等领域。本规范规定了其通用技术要求、试验方法、检验规则及包装运输要求，确保产品性能与可靠性符合行业标准。
###1.**技术要求**
-**结构与材料**：采用高纯度熔融石英加工成挠性梁结构，敏感元件与壳体间需具备优异的抗振性和热稳定性。电极采用真空镀膜工艺，确保信号检测精度。
-**性能参数**：量程范围通常为±1g至±50g，标度因数非线性误差≤0.1%，零偏稳定性≤50μg，重复性误差≤0.05%FS。
-**环境适应性**：工作温度范围-40℃～+85℃，存储温度-55℃～+125℃；抗冲击能力≥1000g（半正弦波，6ms），抗振动能力≥10g（20～2000Hz）。
-**电气特性**：供电电压±5V～±15V，输出信号为差分电压或电流（4～20mA），带宽≥500Hz，噪声密度≤10μg/√Hz。
###2.**试验方法**
-**静态性能测试**：通过高精度离心机或重力场标定标度因数及零偏。
-**动态响应测试**：利用振动台和冲击台验证频响特性及抗干扰能力。
-**温度试验**：在高低温箱中测试温度漂移及补偿效果，确保全温区零偏稳定性。
-**长期稳定性试验**：连续通电1000小时，监测参数漂移量。
###3.**检验规则**
-**型式检验**：涵盖全部性能及环境试验，适用于新产品定型或工艺变更。
-**出厂检验**：每台产品需通过基本功能、零偏、标度因数及绝缘电阻测试，合格率≥99.5%。
###4.**包装与运输**
-采用防震、防潮包装，内部填充惰性材料；存储环境湿度≤60%RH，避免强磁场干扰。
-运输过程中需标注“精密仪器”“防摔”标识，建议使用恒温箱运输。
###5.**应用范围**
适用于高精度惯性导航系统（如、）、船舶姿态控制、石油勘探定向钻井及工业机器人运动反馈等场景。
本规范依据GJB1039A-2004《加速度计通用规范》及行业实践制定，确保产品设计、生产及验收的标准化，为用户提供可靠的质量保障。
石英挠性摆式加速度计可能还需要考虑抗干扰能力，比如在振动或电磁干扰环境下是否能正常工作。线性度也是一个因素，输出信号是否与加速度成线性关系。重复性，多次测量同一加速度时结果的一致性。还有寿命，器件能工作多长时间不失效。
石英挠性加速度计的结构可能包括石英梁、质量块、电极等部分。当有加速度时，质量块会使石英梁弯曲，由于压电效应，产生电荷或电压变化，从而测量加速度。挠性结构的设计可能影响灵敏度和量程，比如梁的厚度、长度等参数。
在性能优化方面，可能需要选择高质量的石英材料，减少内部缺陷。结构设计上通过有限元分析来优化梁的几何形状，以提高灵敏度或扩展量程。温度补偿措施，比如使用温度传感器和算法来校正温度引起的误差。信号处理电路的设计也很重要，低噪声放大器，滤波电路可以提高信噪比，石英挠性摆式加速度计，从而提升精度。
石英挠性加速度计是一种基于石英材料挠性结构和惯性原理的高精度加速度传感器，其测量过程可分为以下步骤：
###一、结构与工作原理
1.**挠性摆组件**：由石英玻璃制成的双摆结构组成，包含检测质量块和挠性支撑梁。石英材料具有低热膨胀系数和高弹性特性。
2.**差动电容检测**：质量块两侧对称布置电容极板，构成差动电容传感器，间距约10-50μm。
3.**闭环反馈系统**：通过静电力或电磁力实现力平衡控制，保持质量块动态平衡。
###二、动态测量流程
1.**加速度输入**：外部加速度作用于传感器时，检测质量块因惯性力产生位移。
2.**电容变化检测**：质量块位移导致两侧电容差值变化（典型灵敏度0.1pF/g）。
3.**信号转换**：电容变化经调制解调电路转换为电压信号（常用载波频率1-10kHz）。
4.**闭环反馈控制**：输出信号经PID控制器生成反馈电流（典型范围±10mA），驱动力矩器产生平衡力。
5.**数据输出**：反馈电流值与加速度成线性关系（标准输出±5V或4-20mA），经AD转换输出数字信号。
###三、关键技术特性
-**灵敏度**：可达10^-5g量级（0.1mg分辨率）
-**带宽**：0-100Hz（可通过阻尼调节）
-**温度补偿**：内置热敏电阻网络，补偿范围-40℃~85℃
-**交叉耦合误差**：<0.1%通过正交安装补偿
###四、应用校准要点
1.需在精密离心机或重力场翻转装置中进行标定
2.六位置法校准（±X/Y/Z轴向）
3.二次非线性误差补偿（典型值<50μg/g2）
该传感器通过力平衡原理实现10^-6g量级精度，在战略制导、航天器姿态控制等场景具有性，其抗冲击能力可达1000g以上，MTBF超过50，000小时。
宁夏石英挠性摆式加速度计-航新由廊坊市航新仪器仪表有限公司提供。“加速度传感器,加速度计,石英加速度计等”选择廊坊市航新仪器仪表有限公司，公司位于：廊坊市广阳区和平路188-4号，多年来，航新坚持为客户提供好的服务，联系人：任德忠。欢迎广大新老客户来电，来函，亲临指导，洽谈业务。航新期待成为您的长期合作伙伴！同时本公司还是从事石英加速度计，石英加速度计厂家，挠性加速度计的厂家，欢迎来电咨询。
