真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。为了使用方便和真空工艺过程的需要，将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态。按电动机标牌规定连接电源，自动真空泵，并接地线和安装合适规格的熔断器及热继电器。对于有冷却水的真空泵，按规定接通冷却水。
真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。低温泵：利用低温表面捕集气体的真空泵。有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构间隙容易控制，转子装配方便，泵占地面积小。较高且齿轮拆装不便，润滑机构也相对复杂。
处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示“差”的意思。在工业生产的许多工艺过程中，如真空过滤、真空引水、真空送料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等，水环式真空泵得到广泛的应用。真空泵应安装在地面结实坚固的场所，周围应留有充分的余地，便于检查、维护、保养。如真空泵口安装电磁阀时，阀与真空泵应同时动作。
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