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Edwards NEXT 2002000 VER.160W三入口能同时抽取三个腔体的真空,分别抽速可达到215 L/s / 28 L/s,对应的控制器为Edwards EXDC160。
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Edwards真空泵也是全真空泵行业的真空获得设备生产制造商,主要 生产: Edwards旋片真空泵,爱德华磁悬浮分子泵, Edwards爪式真空泵, Edwards罗茨真空泵, Edwards螺杆真空泵, Edwards涡旋式真空泵,爱德华磁悬浮分子泵维护保养, Edwards膜片真空泵, Edwards高真空分子泵, Edwards高真空扩散泵, Edwards液环泵, Edwards滑阀泵, Edwards离子泵等。
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XDS 泵的设计极具创新性,采用轴承屏蔽将真空环境与所有形式的润滑剂隔离开来,使之不仅完全干燥,而且完全密封。该屏蔽还能保护轴承免受任何制程蒸汽的影响。
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