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长时间使用引起真空泵的旋片磨损或转子内的弹簧张力不足，岛津涡轮分子泵组，导致吸气室和排气室隔离不严，从而引起真空泵的抽真空性能下降，这时应当更换旋片和弹簧，并清洗转子和泵腔；检查排气阀门，江门岛津涡轮分子泵，观看其动作是否失灵，导致排气不畅，必要时应更换排气阀门。

真空泵维修，问题3、漏油：旋片式机械真空泵*常见的故障之一，主要发生在真空泵的油窗、油箱密封垫、电机轴承轴封三个位置上，其主要原因是真空泵使用时间过长而引起这些部位老化，密封失效，从而导致漏油。解决办法：更换老化的油窗、轴封、密封垫和已吸满泵油的毛毡垫，岛津涡轮分子泵电源，维修完成后，注油前应用爱德华真空泵泵油冲洗真空泵，并用溶剂清洗注油口处的滤网，以保持油箱的清洁

涡旋式泵

原理：涡旋式制冷压缩机是有两个双函数方程型线的动、静涡盘互相牙齿咬合而成。在呼吸、缩小、排气管的工作中全过程中，静盘固定不动在声卡机架上，动盘由凸轮轴驱动器并由防匀速转动组织牵制，紧紧围绕静盘基圆管理中心，做不大半经的平面图旋转。汽体根据空气滤清吸进静盘的外场，伴随着凸轮轴的转动，汽体在声响盘线性拟合所构成的数个半月形缩小腔内被逐渐缩小，随后由静盘管理中心构件的径向孔持续派遣

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涡轮增压分子泵

涡轮增压分子泵是一种排气管式泵，在固定不动的叶子中间有很多高速运转的叶子，汽体分子结构被叶子碰撞得到机械能，奔向排气管一侧。

涡轮分子泵内有多个两色主动轮叶和定轮叶，每一个轮叶上面有很多按一定视角斜置的叶片，具体的涡轮分子泵全是由多级别叶列串连构成，即按压片、定片、动片等先后更替排序，动叶片旋转时又类似电扇叶片的功效，能将汽体从一侧抽中另一侧。因为静环在静环座中长时间处于静止状态，使聚合物和杂质沉积为一体，起到了较好的密封作用。提升 分子泵的转速比，有益于提升 分子泵的抽速。

旋片真空泵主要由泵体（静子）和转子组成。在转子槽中装有两块以上的旋片，有些泵旋片间还装有弹簧。转子偏心地装在泵腔内，其外缘与泵腔顶部表面的间隙为2～3微米。转子旋转时，在离心力等作用下，旋片沿槽作往复滑动并与泵腔内壁始终保持接触，将泵腔分成两个或几个可变容积的工作室。转子顺时针方向旋转时，与吸气口相通的吸气腔容积由零逐渐增大，腔内气体压力降低，被抽气体便从吸气口源源不断地吸入。

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循环冷却水

 冷却水供应不足时，冷凝器会发热，气流声音变大，真空度迅速下降，甚至蒸汽返入抽气管。冷凝水在多级真空泵中起着重要作用。冷凝水可以充分凝结蒸汽，真空泵排出压力中的水蒸气分压必须高于相应的整体蒸气压，因此冷凝水的温度也必须低于此压力下的整体温度，才能保证泵体的正常运行。

真空泵维修、抽不到真空泵的极限真空度：首先检查真空系统的气密性，看是否有轻微漏气。其次应打开气镇，岛津涡轮分子泵报警，让泵运行30分钟左右，来抽干非泵油污染引起的可压缩蒸汽，排除可压缩蒸汽对极限真空度的影响。

机械泵可以做到的真空度大约是1Pa，也就是大气压力的十万分之一。当然，那样的真空度还远远地达不上许多物理实验的规定。这种转变假定产生颗粒物、可凝物或是腐蚀物质，就将会阻塞真空泵或管道系统软件，危害真空泵特性，导致工作压力升高或过压，一点中提及的危险因素也更大。这时候就需要请出另一位“泵”届巨头，分子泵。分子泵运用靠高速运转的动叶片和静止不动的定叶片互相配合，给气体分子一个附加的定项速率，从内腔中抽出来。

分子泵在运转过程中，出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常，之后又下降至一定频率，再恢复到正常，反反复复，更换电源后现象仍如此，请问该现象如何解释？

原因：负载太大，系统真空度不够

解决方法：检查系统

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