曾有研究报道指出，利用吸收净化法处理含氟气体时，在经过几级的吸收后，氟的吸收率会介于97%-98%之间。很容易溶于水，从而形成，又能和许多碱性物质发生反应，从而形成氟化盐。也很容易溶于水，从而形成和硅胶。 所以，采用水或碱液吸收的方法，会很轻易的脱除废气中的和。采用碱液吸收含氟废气中的HF和SiF，经常会用氨水、石灰乳和纯碱、溶液作为吸收剂，且脱效果较好，同时还能把含氟废气中的有害物质转化为有用物质，吸收液还能进行再生的循环利用。
活性炭吸附工艺
活性炭是经过活化处理后的碳，其具备比外表积大，孔隙多的特点，使其具有较强吸附能力。颗粒碳比外表积一般可达700—1200m2/g，其孔径巨细范围在1.5nm一5um之间。其吸附方法首要经过2种途径：一是活性炭与气体分子间的范德华力，当气体分子经过活性炭外表，废气工程售后，范德华力起主导作用时，气体分子先被吸附至活性炭外外表，小于活性炭孔径的分子经内部分散转移至内外表，然后到达吸附的效果，此为物理吸附；二是吸附质与吸附剂外表原子间的化学键组成，此为化学吸附。活性炭吸附一般适用于大风量、低浓度、低湿度、低含尘的有机废气。
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