




气体激光(Gaseous laser),以气体为自动介质的激光中,包含中性原子激光、离子气体激光、金属蒸汽激光、分子气体激光、准分子激光。稀有气体离子激光中,以氩离子激光及氪离子激光为常见。除了直接使用之外,激光气体价格,氩离子激光常以其紫外线及蓝绿光激起染料激光。Au,Cu,Ba,Sn,Pb,Zn等金属的蒸汽,都是中性原子激光的自动介质。它们的蒸汽中,常混入低压力的惰性气体,以提高放电效率。
激光切割领域较长使用的二氧化碳激光混合气体,这里二氧化碳就是产生激光作用的主导气体。二氧化碳激光混合气体目前存在切割线粗,毛边多,准分子激光气体,并且切割钢板的厚度很有限,一般都在10mm左右。激光切割辅助气体主要是干燥空气、高纯氮气或工业氧气,当切割不锈钢板或是切割铝板时一般使用高纯氮气作为辅助气体,一般压力要求比较高。一方面氩激光很少见,另一方面为了便于称号,人们常将氩离子激光简称为氩激光。不光中文叙说如此,英文文献亦见此用法,所以在不致混杂的时候,仍可用氩激光称号氩离子激光。
激光混合气中的发生气体是激光发生器上用来产生激光的气体,对气体质量要求高,激光混合气配制精度要求高,激光气体采购,高纯二氧化碳纯度达99.999%,高纯氮气的纯度99.999%,高纯氦气的纯度要求99.999%,二氧化碳是产生激光的,氦气是冷却激光器的,氮气是平衡气体,气体中的水分、氧份、有机气体杂质对激光机的镜片损伤特别大,能快速减少镜片的寿命。所以激光机对这些气体的质量要求特别高。如果将氦(He)氖(Ne)激光作为代气体激光,二氧化碳激光是第二代气体激光,在半导体制造领域将大量使用的氟化氪(KrF)激光,可称为第三代激光。激光切割领域较长使用的二氧化碳激光混合气体,这里二氧化碳就是产生激光作用的主导气体。二氧化碳激光混合气体目前存在切割线粗,激光气体,毛边多,并且切割钢板的厚度很有限,一般都在10mm左右。
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