用氦气作为氦质谱检漏气体的原因
选择示漏气体(示踪气体）的原则是：它在空气中及真空系统中的含量低；检漏仪对示漏气体的灵敏度高；它不会对人员、环境、被检件及检漏仪造成污染、伤害和安全隐患；价格低。
质谱检漏仪通常选择氦气作示踪气体，主要原因如下：
1、氦在空气中及真空系统残余气体中的含量极1少（在空气中约含5.2ppm），在材料出气中也很少，因此本底压力小，输出的本底电流也小。正因为本底小，由某些原因引起本底的波动，亦即本底噪声也就小，因此微小漏率也就能反应出来，灵敏度高。
2、氦的质量小（相对分子质量为4），易于穿过漏孔。这样，氦较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大，容易发现，灵敏度高。
3、氦是惰性气体，不与被检件器壁起化学反应，不会污染被检件，使用安全。
4、在氦两侧的是氢（质荷比为2）和双电荷原子碳（质荷比为6），质荷比都与氦相差较大。这样，它们在分析器中的偏转半径相差也大，容易分开，定标找氦峰时，不易受其他离子的干扰，因此就降低了对分析器制造精度的要求，易于加工。同时，分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大，使更多的氦离子通过，提高了仪器灵敏度。
5、氦在被检件及真空系统中不易被吸附。这样检出一个漏孔可以使氦信号迅速消失以便继续进行检漏，提高了仪器的检漏效率。
6.氢气有些性能（如质量小、易通过漏孔）比氦还好，然而由于氢一方面有易1爆危险，测漏系统，另一方面在油扩散泵中，由于油受热裂解会产生大量的碳和氢，使氢本底极高且波动大，充气柜测漏系统，以致灵敏度大大降低，所以很少采用。
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氦质谱检漏仪能为不同的需求提供不同的测量方法
氦质谱检漏仪原理的氦质谱检漏仪特点：
1.检测时间和周期非常短，可以达到5s以内；
2.检测的介质比较常用，仅需压缩空气即可；
3.不会受到主观因素判断的影响；
4.检测的数据；
5.自动生成数据保存，SF6充气柜真空箱测漏系统，可追溯数据来源。
氦质谱检漏仪进展的集中体现在如下几个方面：
（1）便携式：zui近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。
（2）高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。
（3）自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单的选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。
（4）全无油的干式检漏：有些国家生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。
（5）检漏范围宽：现今生产的四极检漏仪，质量范围很宽，不仅可检测氦气，智能测漏系统，而且能检测其它气体。
氦质谱检漏仪能为不同的应用提供广泛的测试方法，含有涡轮分子泵、内置机械泵、外置机械泵、光谱、仪管、阀组、检漏仪电子元件和操作页面，以及可选功能组件。氦质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用，例如，在航空航天领域里宇宙飞船、航天飞机、火箭、飞机等这些都要用到真空检漏技术。
真空箱氦检漏的特征和优点
1、高压氮气强度检测真空箱内进行，保护操作者安全
2、真空箱内氦气本底抑零，保证了检漏的准确性、。
3、检漏仪的自动校准功能以及自动校准程序，可随时校准检漏仪的灵敏度、准确度。
4、特殊设计的检测程序判断出具体的有漏工件，并通过灯光和液晶操作屏显示出来。
5、技术的密封接头，减少误判。
6、电气控制系统的连锁保护及声光报警功能，确保了系统的操作安全及可靠运行。
7、PLC控制，使系统运行清晰明了，实现了实时监测及控制。
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充气柜测漏系统-测漏系统-北京科仪创新由北京科仪创新真空技术有限公司提供。北京科仪创新真空技术有限公司是一家从事“真空箱式氦检漏设备,LNG低温容器抽真空设备”的公司。自成立以来，我们坚持以“诚信为本，稳健经营”的方针，勇于参与市场的良性竞争，使“真空泵,真空机组,真空非标设备,真空仪表,检漏仪”品牌拥有良好口碑。我们坚持“服务至上，用户至上”的原则，使科仪创新真空在行业设备中赢得了客户的信任，树立了良好的企业形象。 特别说明：本信息的图片和资料仅供参考，欢迎联系我们索取准确的资料，谢谢！
