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分子泵是否对冷却有明确要求?如风冷需要外界温度是多少?如水冷则对水有何具体要求?如未达到要求会出现何后果?
答:注意水温和水流量,冷却不良会导致无故停机、碎泵、油变黑等。
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VARIAN TV301 NAV 具有涡轮分子泵的集成系统,具有相关的控制器,适用于高真空和超高真空应用。
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电压的不稳定,特别对磁浮类的分子泵损伤较大。前级泵的效率差;我们知道腔体内的大部分气体首先是通过前级泵抽出,真空达到一定程度分子泵才会启动。如果前级泵的效率差,分子泵就会比较吃力,安捷伦涡轮分子泵商家,启动速度慢,抽气时间长,电流高,分子泵温度升高等。

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安捷伦分子泵设计是免日常维护的。由于工艺环境差异,分子泵的工作寿命差别很大,但是如果分子泵已经工作了很长时间(5年以上),或者出现了噪音、温度、功率异常,及时的对其进行维护保养可以大大延长其使用寿命。

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