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目前准分子激光已广泛应用在临床医学以及科学研究与工业应用方面,如:钻孔、标记表面处理、激光化学气相沉积,物理气相沉积,磁头与光学镜片和硅晶圆的清洁等方面,微机电系统相关的微制造技术.所谓准分子激光,是指受激二聚体所产生的激光。之所以产生称为准分子,是因为它不是稳定的分子,是在激光混合气体受到外来能量的激发所引起的一系列物理及化学反应中曾经形成但转瞬即逝的分子,其寿命仅为几十毫微秒。 准分子激光气分类及用途:气是大气中的一种无色、无嗅、无味、无毒的稀有惰性气体,在大气中的含量约为0.93%. 气广泛应用于霓虹灯、激光、白炽灯、荧光灯、电子管、窗户隔热、焊接以及半导体等方面。不同纯度的气可作特殊的工业用途。
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