氦质谱检漏仪的工作原理
今天科仪的小编和大家分享的是氦质谱检漏仪的工作原理，希望对您有所帮助！
氦质谱检漏仪是一种以氦气作为示漏气体专门用于检漏的质谱分析仪器。其基本工作原理是采集被检件中的气体样品并将其电离，根据不同种类气体离子质荷比不同的特点，利用磁偏转分离原理将其区分开来。仪器对其示漏气体氦气有响应信号，而对其他气体没有响应，从而检漏。
氦质谱检漏仪的环境条件
氦质谱检漏仪是现在比较常用的仪器，今天科仪的小编就和大家来说一下，自动系统检漏，氦质谱检漏仪的使用环境条件有哪些，希望对您有所帮助！
校准环境温度为(23 ± 5) ℃ ，校准过程中室温变化不超过± 1℃ ，环境相对湿度不大于80% 。
校准设备周围应无明显的温差、气流和强电磁场等外部干扰。
环境温度较好控制在23℃ 附近，因为标准漏孔的出厂标称漏率对应的环境温度一般为23℃ 。
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氦质谱检漏法
氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理，实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的方法就可以获得漏孔对氦泄漏量。
根据检漏过程中的示漏气体存贮位置与被检件的关系不同，可以将氦质谱检漏法分为真空法、正压法、真空压力法和背压法，下面分别总结了这四种氦质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测的标准。
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