微晶硅(uc-Si)太阳能板为了获得具有高稳定性的硅基薄膜太阳能板，近年来又出现了微晶薄膜硅太阳能板，微晶硅可以在接近室温的低温下制备，特别是使用大量氢气稀释的，可以生成晶粒尺寸10nm的微晶硅薄膜，薄膜厚度一一般在2～3um。到20世纪90年代中期，合肥光伏组件，微晶硅电池的效率已经超过非晶硅，单晶光伏组件价格，达到10%以上，而且没有出现光致效应，但至今尚未达到大规模工业化生产的水平。
非晶硅太阳能板光谱响应的峰值
非晶硅太阳能板光谱响应的峰值与太阳光谱的峰值很接近。由于非晶硅材料的本征吸收系数很大，因此非晶硅太阳能板在弱光下的发电能力远高于晶体硅太阳能板。在1980年非晶硅太阳能板实现商品化后，日本三洋电器公司利用其制成计算器电源，此后应用范围逐渐从多种电子消费产品，如手表、计算器、玩具等扩展到户用电源光伏电站等。非晶硅太阳能板成本低，便于大规模生产，易于实现与建筑一体化，有着巨大的市场潜力。
晶硅光伏组件安装后，轻质光伏组件，暴晒50--100天，效率衰减约2--3%，此后衰减幅度大幅减缓并稳定有每年衰减0。5--0。8%，20年衰减约20%。单晶组件衰减要约少于多晶组件。非晶光做组件的衰减约低于晶硅。因此，提升转化率、降低每瓦成本仍将是光伏未来发展的两大主题。无论是哪种方式，单晶光伏组件，大规模应用如果能够将转化率提升到30%，成本在每千瓦五千元以下(和水电相平)，那么人类将在核聚变发电研究成功之前得到为广泛、清洁、廉价的几乎的可靠新能源。
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