?测量原理和方法
平面度误差是指被测实际表面对其理想平面的变动量。常用测量方法有:激光干涉仪，电
子水平仪，自准直仪，平晶法，打表法等。大中尺寸平面度测量常采用自准直仪、激光干涉仪、
电子水平仪，激光对中仪原理，小尺寸平面度测量常用平晶法测量。本文讲述采用对角线法，利用激光干涉仪测
量直线运动过程中的小角度，激光对中仪，以二乘法计算测量结果，间接得出被测平面的平面度误差。
对角线法又称米字法，在平面度测量时，若激光干涉仪主机位于G点，激光束与线GE重
合，建议按照EA、CA、DH、EG、AG、BF、CE、GC的次序进行测量。
水准仪（英文：level）是建立水平视线测定地面两点间高差的仪器。原理为根据水准测量原理测量地面点间高差。主要部件有望远镜、管水准器（或补偿器）、垂直轴、基座、脚螺旋。按结构分为微倾水准仪、自动安平水准仪、激光水准仪和数字水准仪（又称电子水准仪）。按精度分为精密水准仪和普通水准仪。水准仪是在17～18世纪发明了望远镜和水准器后出现的。20世纪初，在制出内调焦望远镜和符合水准器的基础上生产出微倾水准仪。20世纪50年代初出现了自动安平水准仪；60年代研制出激光水准仪；90年代出现电子水准仪或数字水准仪。
CCD上，黄条码使ccD产生光电流，
当望远镜照准标尺后，标尺上某
-段的条码就成象在线阵
视距在.
于模数转换(AD)后，得到不同的灰度值。
随条码宽窄的改变，激光对中仪E420，光电液强度也变化。将它进行
橫坐标是CCD
上数素的线阵cCD.视距和视线高的信息的测量信霜在差呢?
员容易理解的方式来说
度波的相位差呢?下文用测量人
如何从上述测量信号中求出A和B两英
而且横坐标尺寸已放大到和标尺尺寸一
明。设想纵坐标的灰度值就是表示弄
亮度大小的十进位数字，激光对中仪应用，
曲线抵合，就可由得到A波的振幅和
明。我们用一波长为600的正弦曲线中的离散
灰度值
振幅和初相位. 我们对振幅
初相位。再用波长为570mm的正弦曲线，
就可由得到B波的
;不同次数的测量中也不同，对我们求视线高
尔想的兴盘，因为随着标尺上的照度不同，指幅在
之差就是高度数据。不过这是与ccD上个象
无关紧要。我们求出的A和B
;两亮度波的初相位之差就是
中点象素上的相位差，这就好象是
素对应的位置
到标尺底端面的高度。我们不难把它换算成CD
中丝读数。
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