





真空系统常用名称①主泵:在真空系统中,用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵,如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。②前级泵:用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。③粗抽泵:从大气压下开始抽气,并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵,就是粗油泵。
真空的定义真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态真空度处于真空状态下的气体稀簿程度,通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思,真空度低表示真空度“差”的意思。真空度单位通常用托(Torr)为单位,国际上取用帕(Pa)作为单位。1托=1/760大气压=1毫米柱托与帕的转换1托=133.322帕 或 1帕=7.5×10-3托平均自由程作无规则热运动的气体粒子,相继两次碰撞所飞越的平均距离,用符号“λ”表示。
多级离心真空泵出水管口在出水池正常水位以上 若是出水口在出水池正常水位以上,虽添加了水真空泵扬程,但削减了流量。如因地势条件所限,出水口有必要高出出水池水位,则应在管口加装弯头和短管,使水管变成虹吸式,下降出水口高度。
设底阀时,进水管下一节不是笔直的 如这样装置,阀门不能自行封闭,形成漏水。正确装置办法是:装有底阀的进水管,下一节佳是笔直的。如因地势条件约束不能笔直装置,则水管轴线与水平面夹角应在60°以上。
