空气风淋室安装时，根据设计的坐标位置或土建施工预留的位置进行就位；设备的地面应水平、平整，在设备的底部与地面接触的平面，应根据设计要求垫隔振层，使设备保持纵向垂直、横向水平；设备的机械、电气连锁装置应处于正常状态，风机与电加热、内外门及内门与外门的连锁等；设备与围护结构连接的接缝，应配合土建施工做好密封处理。
山东净化车间工程的门窗构造应平整简洁、不易积灰、容易清洁
山东净化车间工程的门窗构造应平整简洁、不易积灰、容易清洁；门窗表面应无划痕、碰伤，型材应无开焊断裂。山东净化车间对于门窗密封的要求：门框密封面上有密封条时，在门扇关闭后，密封条应处于压缩状态；安全疏散门如设有关闭件，应安在方便打开的明显位置，安全门如为需要临时破开的结构，破门工序必须设于明显位置，并应牢靠放置、取出方便。门上的把手如突出门面，不得有锐角、尖角，应圆滑过渡。当净化车间单扇门宽度大于600mm时，半导体净化工程维护，门扇和门框的铰链不应少于3付，门窗框与墙体固定片间距不应大于600mm，框与墙体连接应牢固，多晶硅净化工程维护，缝隙内应用弹性材料嵌填饱满，表面应用密封胶均匀密封。
洁净隧道：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。洁净管道：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为更适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。并装局部无尘室：将无尘室等级10，000~100，000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
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