




真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。低温泵:利用低温表面捕集气体的真空泵。有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构间隙容易控制,转子装配方便,泵占地面积小。较高且齿轮拆装不便,润滑机构也相对复杂。
真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。

结构紧凑,泵的转数较高,一般可与电动机直联,无须减速装置。故用小的结构尺寸,可以获得大的排气量,占地面积也小。随着真空技术在应用压强范围的要求越来越宽,无油真空泵,大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求,真空泵相关下游应用行业保持快速增长,同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下,我国真空泵行业实现了持续稳定地快速的发展。

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