等离子体是一种聚集态物质，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿产生包括电子、各种离子原子和自由基在内的混合体，废气处理工程，其所拥有的高能电子同烟气中的分子碰撞时，发生一系列基元反应，并在反应过程中产生多种活性自由基和生态氧，即臭氧分解而产生的原子氧，这些强氧化性的活性氧迅速与烟气中的有机分子碰撞并将其破坏，或者高能活性氧空气中的氧分子而产生二次活性氧，二次活性氧与烟气中的有机分子产生一系列链式反应，并利用自身反应产生的能量维系氧化反应，进一步氧化有机物质，终生成无机氧化物和水，体积小，能耗低，运行稳定，操作简单，不产生二次污染，对有机废气处理效率一般为80%。
光催化氧化
光催化氧化技术：通过采用高能高臭氧紫外线光束让空气中的氧分子产生游离氧进而产生臭氧。臭氧氧化作用很强，氧在光的作用下可产生大量的新生态氢、活性氧和羟基氧等活性基团，从而终转化为CO2和H2O等，终去除恶臭。由于光的平均能量在1eV～7eV的水平，適当控制反应条件就可实现较难实现的化学反应变得十分快速，终增加反应器工作效率能力。
UV光解法利用UV光解净化设备发出的高能UV紫外线光束照射恶臭气体，裂解H2S、硫化物、VOC类、苯、、二的分子链结构，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在高能紫外线光束照射下，降解转变成低分子化合物，如CO2、H2O等。利用高能UV光束裂解恶臭气体中细菌的分子键，破坏细菌的核酸（DNA），再通过臭氧进行氧化反应，达到脱臭及杀灭细菌的目的。 有的时候，单一的工艺不能的解决，会用到组合工艺，比如催化燃烧+UV光解，催化燃烧+等离子。具体的工艺操作还需要根据现场的实际探查结果为准。
检查企业的废气处理设备，发现存在“五大弱点”
（1）废气收集效率较低
部分企业虽说在生产线上安装了集气罩，但是由于生产设备移动幅度大、集气罩与收集点距离远，因此收集效果并不理想。此外，部分行业废气产生过程被忽略，以无组织的形势直接排放。
（2）治理设施去除率较低
一些企业为了节约成本，购买的废气处理设备不合格，比如，UV光解设备的灯管损坏、活性炭长期不更换、设备工艺落后等。这些问题将导致废气处理的效率大打折扣。
（3）台账收集不完整
在废气设备运行处理废气方面，很多企业的记账不完整，还有记录格式不规范，更有的企业没有记账。
（4）危险废物处置不规范
企业废气处理设备产生的二次污染物，例如：饱和的活性炭、生产原材料的包装等，存在储藏不当、处理不当等问题。
（5）缺乏采样口或采样口设置不规范
为了能够计算出废气处理设备的去除率，需在设备前后分管开设取样口，部分企业的取样口设计不合理，导致数据不准，无法测算去除率。
臭氧是目前环境污染的一大巨头，其前提物是挥发性有机化合物，因此企业的废气处理工作还是应该尽早改善。
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