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安徽谱纯气体科技有限公司

金牌会员4
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企业等级:金牌会员
经营模式:生产加工
所在地区:安徽 合肥
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手机号码:15755114169
公司官网:www.ahpuchun.com
企业地址:合肥市经开区翡翠路天时广场二期2204室
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安徽谱纯气体科技有限公司成立于2016年,主要经营各种高纯稀有气体,电子气,气体,标准气,电光源混合气等;另外为广大客户提供用气咨询,超净气体管道设计方案,特种气体气瓶柜(含自动报警),容器,减压器,阀门仪表,充装设备选型和安装服务等;我司由气体**组成,在气体纯化(低温精馏),气体分析技术,气体生......

四氟化碳-安徽谱纯|货源充足-高纯四氟化碳

产品编号:100114424228                    更新时间:2025-05-09
价格: 来电议定
安徽谱纯气体科技有限公司

安徽谱纯气体科技有限公司

  • 主营业务:气体,特种气体
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产品详情





<p><br /></p><p><p><p><br /></p><p>四氟化碳的密度比较高,可以填满地面空间范围,在不通风的地方会导致窒息。四氟化碳成品应存放在阴凉,四氟化碳公司,干燥,通风的库房内,严禁曝晒,远离热源。四氟化碳是可作为氟和自由基氟化碳的来源,用于各种晶片蚀刻工艺。四氟化碳和氧结合用以蚀刻多晶硅、二氧化硅和氮化硅。四氟化碳是目前微电子工业中用量大的等离子蚀刻气体,四氟化碳,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合体,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的蚀刻。</p></p></p><p><br /><div style='text-align:center;'><br/><img src='https://img301.dns4.cn/pic/252145/p8/20181115152039_4762_zs_sy.jpg' /></div><div style='text-align:center;'><br/><img src='https://img301.dns4.cn/pic/252145/p8/20181030180701_1361_zs_sy.jpg' /></div></p><p><br /></p><div id='div_zsDIV'></div> <br /><p>对于硅和二氧化硅体系,采用CF4-O2反应离子刻蚀时,通过调节两种气体的比例,四氟化碳厂家,可以获得45:1的选择性,这在刻蚀多晶硅栅极上的二氧化硅薄膜时很有用。四氟化碳的热稳定性更好。化合物的热稳定性主要与化学键的键能及键长有关。零下198 °C时,四氟化碳具有单斜的结构,晶格常数为a = 8.597, b= 4.433, c = 8.381 (.10-1 nm), β = 118.73° 。四氟化碳是可作为氟和自由基氟化碳的来源,用于各种晶片蚀刻工艺。四氟化碳和氧结合用以蚀刻多晶硅、二氧化硅和氮化硅。</p><p><br /><div style='text-align:center;'><br/><img src='https://img301.dns4.cn/pic/252145/p8/20181115152039_8502_zs_sy.jpg' /></div><div style='text-align:center;'><br/><img src='https://img301.dns4.cn/pic/252145/p8/20181030180701_1361_zs_sy.jpg' /></div></p><br /><p style='text-indent:25px;font-size:14px;'>电子四氟化碳是目前半导体行业主要的等离子体蚀刻气体之一,在硅、二氧化硅、金属硅化物以及某些金属的蚀刻,以及低温制冷、电子器件表面清洗等方面被广泛应用。而电子特气系统为它保驾护航,保证四氟化碳(CF4)的纯度和安全稳定使用。在填有氢氧化铬的高温镍管中进行,高纯四氟化碳,反应后的气体经水洗、碱洗除去酸性气体,再通过冷冻,用硅胶除去气体中的水分,经精馏而得成品。由碳与氟反应,或与氟反应,或碳化硅与氟反应,或氟石与石油焦在电炉里反应,都能生成四氟化碳。</p><p style='text-align:center;'><img src='https://img301.dns4.cn/pic/252145/p8/20181115152039_4762_zs_sy.jpg' align='center' /></p> <br /> 四氟化碳-安徽谱纯|货源充足-高纯四氟化碳由安徽谱纯气体科技有限公司提供。安徽谱纯气体科技有限公司拥有很好的服务与产品,不断地受到新老用户及业内人士的肯定和信任。我们公司是商盟认证会员,点击页面的商盟客服图标,可以直接与我们客服人员对话,愿我们今后的合作愉快!

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