特种气体是由两大类气体组成的。一类为单元高纯气体，另一类为混合气体。对于单元高纯气体，根据现已收集到的文献，特种气体厂，汇总起来共有227种，工业特种气体，可分成五个类别。有气体仓库贮存。气瓶仓库应通风干燥、清洁， 避免阳光直射， 气瓶库应清楚明“气瓶贮存”字样， 显示适当的危险标记(例如、、有毒等) 。 包装标志：有毒气体。常温下，干氯不腐 蚀钢｛但在水和湿气存在时，由于生成盐酸和次氯酸。所以呈强腐蚀性应保持设备中无 水，管路、阀门和容器不用时应密封或加帽，从而与大气中的湿气隔离。
特种气体在太阳能电池中的应用：晶体硅电池片生产中的扩散工艺用 到 POCl3 和 O2，减反射层 PECVD 工艺用到 SiH4、NH3，刻蚀工艺用到 CF4；特种气体是工业气体中的一个新兴门类，特种气体，是随着近年来工业、科学研究、自动 化技术、精密检测，特别是微电子技术的发展而发展起来的。灭菌特种气体主要应用于（绷带、缝线及手术器具）、包装、纺织品、橡塑制品、化妆、粮食等产品及贮藏方面的杀菌。
特种气体是指稀有气体或超高纯度（99.995% 以上）的气体。包括分析、医1药、电子及石油化工在内的许多行业都会受益于特种气体的性质，它有助于提高产量、优化性能以及降低成本。特种气体广泛应用于半导体制造行业，特种气体价格，是超大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可缺少的原材料，它们主要应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。电子工业是当今推动科技发展的高新技术产业，由于所用气体的品种多、质量要求高，为有别于其它领域应用的气体，人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体。
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