




各种气体配管配件要求
在半导体体行业线宽越做越小,其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。
高纯氮气(PN2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氮气(N2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管或光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。
高纯氢气(PH2)氢气(H2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,气体管道安装报价,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(Ar):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氦气(He):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
特气系统:必要的还需做双套管:外管酸洗钝化(AP)处理,内管电解抛光(EP),阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
对于特殊气体来讲,气体品种多,有毒有害气体多,原来是一机台配一气柜,高昂的装备组合和维修费用大大增加了投资成本,且有的还布置在工艺间内,存在着泄漏的安全隐患。现在广泛采用集中供气系统,气柜集中,自控系统不断完善,气体管道安装怎么样,其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟,特气间也与工艺间隔离,气体管道安装,并对房间有防爆要求,工作的安全性大大提高。
管道系统的布置方式
各种管网都是由总管、干管和支管三部分组成。 总管是指从室外管网到实验室内的管道,干管是指从总管分送到各单元的管道,支管是指从干管连接到实验台的实验设备的管道,各种管道一般总是以水平和垂直两种方式布置。
管道系统设计的考虑因素
科学合理的管道系统设计,可以较低的成本实现不错的功能与效果。通常考虑一下因素。
1.管道系统的布置方式
合理布置垂直输送、水平输送、排放管道和管井的位置,将楼层高降到底线,尽量减少输送和排放管道的交叉次数,降低建筑投资成本。
2.管道系统的维护问题
必须预留维修的空间,方便维修管道系统的控制阀门和断路器等关键部件。
3.管道系统未来的改变
必须预留空间和通道以允许对公用服务设施进行改变和增加,适应未来发展的需要。
4.管道系统的效率
尽量使各种管线短捷、经济合理,提升效率,降低运行费用与管道系统的投资费用。
5.建筑的形象设计
管道系统的设计直接影响建筑物的高度和体量,可采用实验室模块分散式管井,也可采用集中式大型竖井,必须结合建筑物的总体形象与实验楼的实际需要,曹勇美观的管道系统。
实验室气体管道供气系统
实验室气路安装指实验室气体工程,即从气瓶至仪器终端之间连接管线,JHP一般有气体切换装置-减压装置-阀门-管线-过滤器-报警器-终端箱-调节阀等部分组成。目前主流气路编排主要为实验室集中供气系统。
公司提供全i方位的实验室气体管道供气系统,满足不同实验的用气要求与安全。采用汇流排供气设备,进行双瓶带手动、半自动、全自动切换功能,带有低压报警装置,实时监控气体压力,浓度侦测报警和排风,保证客户正常用气需求和生命财产安全。
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