低温等离子废气处理设备的技术机理：
等离子体去除恶臭是通过两个途径实现的：一个是在高能电子的瞬间是高能量作用下，打开某些有害气体分子的化学键，使其直接分解成单质原子或无害分子另一个是在大量高能电子、离子、激发态粒子和氧自由基、氢氧自由基(自由基因带有不成对电子而具有很强的活性)等作用下的氧化分解成无害产物。主要有下面几个过程：
1、在高能电子作用下，光氧催化废气处理设备，强氧化性自由基O、OH、OH2的产生
2、有机物分子受到高能电子碰撞被激发，及原子键断裂形成小碎片基团和原子
3、O、OH、HO2与激发原子、有机物分子、废气处理公司破碎的基团、其他自由基等发生一系列反应，有机物分子终被氧化降解为CO、CO2、H2O。去除率的高低与电子能量和有机物分子结合键能的大小有关。
从除臭机理上分析，主要发生以下反应：
H2O+O2、O2-、O2+——SO3+H2O
NH3+O2、O2-、O2+——NOx+H2O
H2S去除率可达91.9%，NH3去除率可达93.4%，臭气浓度去除率可达93.6%。
从上述反应来看，恶臭组分经过处理后，转变为NOx、SO2、CO2、H2O等小分子，在一定的浓度下，各种反应的转化率均在95%以上，而且恶臭浓度较低，因此产物的浓度极低，均能被周边的大气所接受。
水喷淋+干式过滤器+活性炭吸附+催化燃烧此工艺多用于喷漆、烘漆VOCs废气，主要污染物为苯、与、总VOCs。含有机物的废气经风机的作用，首先经过水喷淋将大部分漆雾去除后进入干式过滤器，干式过滤器一方面可以去除气体中的水分，另一方面可以进一步拦截部分颗粒物，车间废气处理设备，保护后续活性炭处理设施。预处理后的气体进入活性炭吸附箱，通过吸附作用，有机物质被截留在其内部，处理达标的气体经烟囱高空排放。运行一段时间后，活性炭达到饱和状态，吸附作用失效，此时有机物已被浓缩在活性炭内。按照PLC自动控制程序，催化氧化设备自动升温将热空气通过风机送入活性炭床使碳层升温将有机物从活性炭中“蒸”出，脱附出来的废气属于高浓度、小风量、高温度的有机废气。该部分气体进入催化燃烧室，在催化剂作用下燃烧后净化，完成脱附过程。再通过热交换器将净化后的气体降温，后经风机引高空排放。为了保证处理流程的连续性，该工艺中活性炭箱一般采用一用一备，当其中一个炭箱处于脱附状态时，另外一个处于吸附状态，通过控制程序自动切换，交替使用。值得注意的是，脱附过程中要严格按照操作规范进行，工业废气处理设备，注意控制燃烧温度，避免因操作不当导致火灾或事故。由于某些物质，如氯离子，对脱附所用催化剂具有作用，废气处理设备，会造成催化剂“”而失去催化作用，因此活性炭吸附+催化燃烧工艺不适用于处理含氯离子等对催化剂有作用成分的气体。
对不同分子量和极性VOCs吸附效果的分析
VOCs的分子量和极性对活性炭吸附效果有很大影响。一般情况下，若VOCs结构类似，其相对分子质量越大，则被吸附得越多;对分子质量和结构都相近的VOCs，则是不饱和性越大越易被吸附。 Yu-ChunChiang等利用不同原料制配的活性炭吸附苯、、和4 种VOCs。结果表明，活性炭对苯的吸附效果更强，因为苯有较高的吸附热和较低的熵变。
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