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涡轮分子泵性能
泵的排气压力与进气压力之比称为压缩比。压缩比除与泵的级数和转速有关外,还与气体种类有关。分子量大的气体有高的压缩比。对氮(或空气)的压缩比为10~10;对氢为10~10;对分子量大的气体如油蒸气则大于10。
泵的极限压力为10Pa,工作压力范围为10~10Pa,抽气速率为几十到几千升每秒(1L=10m)。
涡轮分子泵必须在分子流状态(气体分子的平均自由程远大于导管截面zui大尺寸的流态)下工作才能显示出它的性,因此要求配有工作压力为1~10Pa的前级真空泵。
分子泵本身由转速为10000~60000转/分的中频电动机直联驱动。
不要长时间在高压力下工作
包括油旋片真空泵在内的好多粗真空泵都可以从大气压直接启动,但不代表它们可以长期在大气压或者比较差的真空下工作。旋片真空泵长时间在比较差的真空度下工作时,大量的润滑油会以油雾甚至油滴的形式从排气口喷出,造成·泵油损失;另外,真空度比较差时,真空泵发热也会比较严重。
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涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子,使气体产生定向流动而抽气的真空泵。
涡轮分子泵的优点是启动快,能抗各种射线的照射,耐大气冲击,无气体存储和解吸效应,无油蒸气污染或污染很少,能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵广泛用于高能加su器、可控热核反应装置、重粒子加su器以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。
Pfeiffer TC600德国普发分子泵电源维修,pfeiffer TC600分子泵电源的原理为:将对应24V或48V或72V or 140V直流电,
分子泵是一种利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。 它不同于传统的容积式机械泵,其抽气机理是在分子流区域内,通过高速运动的刚体表面传递给气体分子动量,使气体分子在刚体表面的运动方向上产生定向流动,从而达到抽气的目的
如果不采用一个操作合理的前级管道**阀,就有可能即污染涡轮分子泵又污染真空室。当前级泵断电停车时,前级泵就会给自己充气反向通到涡轮分子泵的排气口。这种前级泵充气会输送前级管道返流的泵油,之后通过涡轮分子泵进入真空室,这种现象称为油污染,被污染后涡轮分子泵的叶片就必须在厂家的指导下用氟利昂来清洗。德国普发分子泵电源维修
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因为涡轮增压分子泵的滚动轴承和转子都会髙速旋转,对震动非常比较敏感,传送到滚动轴承的震动会危害滚动轴承的使用寿命,传送到电机转子的震动会导致电机转子产生偏移,乃至会与泵壳或电机定子触碰。而一旦髙速旋转的电机转子与其他静止不动的一部分触碰,极大的撞击力会马上导致电机转子叶子的粉碎,整泵也随着损毁。
Pfeiffer TMU521-德国普发分子泵维修测试照片:分子泵电压71V,分子泵频率:833Hz
Pfeiffer TMH521是德国普发公司中型涡轮分子泵,对应Pfeiffer TC600 及Pfeiffer DCU300,Pfeiffer TMH521对应口径有ISO100及ISO160-K,CF接口的Pfeiffer TMU521有CF100及CF160 两种口径
分子泵的关键部件是转动叶片和固定不动叶片(图1)。转动叶片的转速比达1800~90000rpm,叶片端客户达百余m/s,贴近分子结构的平均速率,根据和汽体分子结构的撞击将汽体分子结构运送到出气口。分子泵的转速比可做到10000r/min~50000r/min,假如立即抽空气,普发二手泵TPD022价格,气旋会对分子泵导致不可逆的损害乃至报费。当对向设定的转动叶片开展髙速旋转时,汽体分子结构从呼吸侧健身运动到排气管侧的概率是A,汽体分子结构从排气管侧往复运动到呼吸侧的概率是B
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