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安捷伦涡旋式干泵采用两个涡旋盘复合成的机械结构，由一个涡旋嵌入另一个涡旋并转动来捕集气体。进入涡旋槽内的气体被移动压缩到涡旋的中信并被排出。涡旋式干泵具有噪音低，震动小，结构简单，运行稳定，安捷伦，维护间隔周期长等优点，而且不易发生可能引起灾难性后果的突发的故障。
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高真空泵可将腔室或系统抽空到高机械泵（10-3至10-8托）或极高机械泵（<10-8托）的压力范围内。机械泵和文丘里管发生器在中等偏上至粗机械泵范围内运行
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Agilent SH-110全密封干式涡旋泵具有业内的真空获得性能，结构紧凑，能够轻易地实现与现有、生产设备的真空系统相集成。此型号单级涡旋泵具有110升1分钟的抽速(60Hz电源条件下)，可获得50mTorr(约67Pa)的极限真空，即使单独作为粗真空获得设备也是理想的选择。SH-110涡旋泵符合CE、CSA以及Semi S2-0200等多种标准。
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