电感耦合
炬管通常是垂直放置的，等离子体激发基态原了的电了至较高能级，当较高能级的电子“落回”基态时，就会发射出某一待测元素的特定波长的光子。在电感耦合等离子体质谱仪中，国产电感耦合等离子体质谱仪生产厂家，等离子体炬管都是水平放置的，用于产生带正电荷的离子，而不是光子。实际上，国产电感耦合等离子体质谱仪，电感耦合等离子体质谱仪分析中要尽可能阻止光子到达检测器，因为光子会增加信号的噪声。
电感耦合等离子质谱仪
ICP-MS仪器所使用的等离子体除了方位和线圈接地方式外，与发射光谱中使用的基本相同。所使用的质量分析器、离子检测器和数据采集系统又与四极杆GC-MS仪器相类似。质量分析器多采用四极杆质谱计，国产电感耦合等离子体质谱仪厂家，也有采用具有高分辨的双聚焦扇形磁场质谱计、飞行时间质谱计等。该技术的特点：灵敏度高；速度快，可在几分钟内完成几十个元素的定量测定；谱线简单，干扰相对于光谱技术要少；线性范围可达7～9个数量级；样品的制备和引入相对于其他质谱技术简单；既可用于元素分析，还可进行同位素组成的快速测定；测定精密度(RSD)可到0.1%。
电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)
电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)是20世纪80年代早期发展起来的商品化的分析技术。这项技术已经应用于几乎所有分析领域内痕量、微量和常量元素的测定。
该技术的优势包括:
（1）元素覆盖范围宽：包括碱金属、碱土金属、过渡金属和其它金属类金属、稀土元 素、大部分卤素和一些非金属元素；
（2）性能好：灵敏度高，背景信号低，检出限极低； 分析速度快：由于四极杆分析器的扫描速度快，每个样品全元素测定只需大约4分钟；
（3）线性范围宽：一次测量线性范围能覆盖9个数量级；能够提供同位素的信息。
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