




什么是流量控制器
质量流量控制器,即MassFlowController(MFC),不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。质量流量控制器(Mass Flow Controller缩写为MFC)用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。扩散,氧化,分子束外延,CVD,等离子刻蚀,溅射,离子注入,以及真空镀膜设备,光纤熔炼,微反应装置,混气配气系统,毛细管测量气象色谱仪,光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金,制药等。特点:精度高,重复性好。
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流量控制器分类
热式质量流量器根据热源及测温方式的不同可分为接触式和非接触式两种。
1.接触式热式质量流量器这种质量流量计的加热元件和测温元件都置于被测流体的管道内,与流体直接接触,常被称为托马斯流量计,适于测量气体的较大质量流量. 由于加热及测量元件与被测流体直接接触,因此元件易受流体腐蚀和磨损,影响仪表的测量灵敏度和使用寿命。测量高流速、有腐蚀性的流体时不宜选用,这是接触式的缺点。
2.非接触式热式质量流量器这种流量计的加热及测温元件都置于流体管道外,与被测流体不直接接触,克服了接触式的缺点。
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流量控制器
数字化质量流量控制器的发展情况如何? 有些什么特点?
数字化质量流量控制器起源于上世纪八十年代末期, 现在在国外, 有逐步普及的趋势。在国内,定量流量计多少钱, 2004年中法合资的七星弗洛尔公司已有AFC系列数字化MFC/MFM批量投产。
数字化质量流量控制器有两种类型, 一种是数字模拟兼容产品, 一种是全数字化产品。数字模拟兼容类产品采用与模拟流量计一样的±15V电源, 输入输出信号除了有模拟的+5VDC信号外, 还具有RS232/RS485串行通讯口。数字模拟兼容的MFC当设置为模拟式时,流量计多少钱, 可以直接替换模拟式MFC,数字气体流量计多少钱, 无需做其它更改。全数字化类型产品通常采用24VDC单电源, 没有模拟输入输出信号, 只有现场总线通讯信号。

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