光纤制备中用作生产掺氟玻璃的氟源，在制造低损耗单模光纤中用作隔离层的掺杂剂。还可用作氮准分子激光器的掺加气体。在气象、环境检测及其他部门用作示踪剂、标准气或配制标准混合气。在高压开关中用作灭弧和大容量变压器绝缘材料。也可用于粒子及避雷器中。利用其化学稳定性好和对设备不腐蚀等特点，在冷冻工业上可用作冷冻剂（操作温度－45~0℃之间）。由于对α粒子有高度的停止能力，还用于化学。此外还作为一种反吸附剂从矿井煤尘中置换氧。
容积法1、适用范围静态容积法适用于实验室制备多种小、少量的标准气体，压力接近大气压力。2、所需设备配气设备：气瓶，气瓶减压阀门，定体积管，压力计，真空泵。饱和法1、适用范围饱和法法适用于易于冷凝的气体和蒸汽。2、所需设备配气设备：气瓶，气瓶减压阀门，冷凝器，标准气体价格，饱和器，标准气体怎么样，恒温控制器，压力计，循环风机。流量法1、适用范围流量比法法是动态配气方法，是严格控制一定比例的组分气体和释稀释气体的流量，标准气体厂家，经混合而得到的标准气体。2、所需设备气瓶，气瓶减压阀门，单向阀，流量控制器，压力表，管道，机箱。
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