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光刻靶在微纳制造领域具有广泛的应用,涉及集成电路、光电子器件、生物芯片等多个领域。在集成电路制造中,光刻靶用于制作芯片上的晶体管、电容、电阻等元件,以及它们之间的连接线路。在光电子器件制造中,光刻靶则用于制作光纤、激光器等设备的关键部件。此外,在生物芯片制造领域,光刻靶也发挥着重要作用,用于制作生物传感器、基因芯片等生物检测与分析工具。

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