氦质谱检漏系统是一种用于检测和定位泄漏点的高精度检测系统。它通过利用氦气在不同浓度下的特征响应来检测泄漏，具有灵敏度高、检测范围广、定位精度高等优点。其主要功能包括：检测泄漏气体的存在、识别泄漏、定位泄漏位置、监测泄漏量等。
氦质谱检漏系统是一种高灵敏度的泄漏检测设备，主要用于真空系统中微小渗漏的查找和定位。它主要由主机、进气管道组件、离子源、收集极、高压电源、探测器等部分组成。
该系统的功能是利用高速流动的高纯度惰性气体（通常是氮或）流将待测区域与外部环境隔离，如果存在泄的话，那么在压力梯变的影响下空气中的分子会从有缝隙的地方跑出去形成气泡，从而产生声学信号或者叫作粒子束，通过测量这个声音可以确定具体的漏洞位置以及大小等信息。这种技术对各种材料均不敏感而且对于很小的体积也可以进行准确的测定，因此广泛应用于半导体工业中硅片芯片封装环境的监测以防止晶圆损伤；也应用于大规模集成电路生产线上检查每个密封件是否有缺陷。
检漏系统原理主要分为两种：一种是人工检测法，另一种是仪器自动探测泄漏点。
1.人工检测法是一种比较简单的方法，检漏系统，通常使用肥皂水或者气体进行试喷检查是否存在燃气泄露的情况发生。这种方法需要人员通过听诊和嗅觉等方式来查找可能的泄漏位置并进行维修或更换部件；同时还需要定期对管道、设备等进行维护保养处理，以避免潜在的安全隐患。该方法的优点在于成本低且操作方便，但准确率相对较低并且无法定量测量出具体的泄漏量大小及大致的泄漏范围等重要信息。因此在实际应用中存在一定的局限性。
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