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流量控制器的应用中IST流量传感器的作用

IST-AG通过特殊的薄膜工艺，将高精度加热器，温度传感器或电堆封装在单一芯片内，构成流量测量的主要传感单元（Figure 2） ，通过流量传感器以响应绝大多数流量测量场景，薄膜技术的应用使得IST AG流量传感器具有很好的结构与性能优势。为此IST流量传感器在MFC中的应用工采网推荐瑞士IST 质量流量传感器 - FS5.0.1L.195的升级版IST-AG FS7流量传感器。

IST公司的FS5.0.1L.195是一个热质流量传感器，用于各种气流应用.热质流量传感器使用热传递原则，确定流体的流率.随着流体通过传感器，热质由传感器传递到媒体.此关序取决于流动速率.随着流动增加，热量被传递.通过了解媒体的温度，即可通过为保持恒定温度差的电压补偿量得出流速。

而IST-AG FS7流量传感器宽广的测量范围允许将传感器直接置于被测气路当中，免去复杂的旁路设计。传感器具有陶瓷基底与钝化玻璃层进行保护，具有较佳的长期稳定性。

因此在终端应用中，质量流量控制器的可靠性多半是许多半导体工艺的基础。MFC 的失准或制造缺陷会导致晶圆产量下降，甚至会损坏整个晶圆。采用IST流量传感器则可以为MFC产品带来如下优势:

1、足够宽的测量范围使得在许多场景中不必使用旁路，而进行直接测量，提高测量的准确性。

2、薄膜技术带来极高的响应灵敏度，在一般测量状态就可以瞬间响应压力浪涌。

3、小巧的体积与简单的安装方式，给气路结构优化创造更大的空间。

质量流量控制器的使用范围和控制范围有多广泛？

关于气体质量流量计的标准状态，主要是指在标准状况（STP）0℃( 273K)、1.01×10^5Pa下，1摩尔任何理想气体所占的体积都约为22.4升，这个体积叫做该气体的摩尔体积，单位是L/ mol（升/摩尔） ，即标准状况下(STP)气体摩尔体积为 22．4L/mol。在25℃，1.01×10^5Pa时气体摩尔的体积约24.5L/mol。

采用全新的进口传感技术以及高精度的机械加工技术，能实现微小流量测量和控制，其特点是可靠性高、重复性好，压损小，无可动部件，量程比宽，响应时间较快，电子气体流量计价格，测量精度高，无需要温度压力补偿，广泛应用于轻工化工环保及半导体等工业部门的空气、氧气、氩气、氮气等气体的检测和控制。

热式气体质量流量控制器和热式流量计是基于热扩散原理而设计的流量仪表。即利用流体流过发热物体时，电子气体流量计，发热物体的热量散失多少与流体的流量呈一定的比例关系。该系列流量计的传感器有两只标准级的RTD，一只用来做热源，一只用来测量流体温度，电子气体流量计公司，当流体流动时，两者之间的温度差与流量的大小成线性关系，再通过微电子控制技术，将这种关系转换为测量流量信号的线性输出。

流量控制器在内燃发动机中的使用

气体质量流量计和流量控制器是采用进口生产工艺，在20℃，1个大气压条件下标定的，主要是指气体在1分钟的体积流量单位。是气体流量计量中新型仪表，不需要进行压力和温度修正是区别于其它气体流量计重要指标，能直接测量气体的质量流量，它适合单一气体和固定比例多组份气体的测量和控制，在科研单位以及高校实验室中广泛使用。

热式气体质量流量控制器目前在各行的内燃发动机中广泛使用，电子气体流量计报价，主要是用来控制和调节各种量程的能源气体的燃烧。内燃机是一种动力机械，它是通过使燃料在机器内部燃烧，并将其放出的热能直接转换为动力的热力发动机。

内燃机未来的发展将着重于改进燃烧过程，提高机械效率，减少散热损失，降低燃料消耗率；开发和利用非石油制品燃料、扩大燃料资源；减少排气中有害成分，降低噪声和振动，减轻对环境的污染；采用高增压技术，进一步强化内燃机，提高单机功率；研制复合式发动机、绝热式涡轮复合式发动机等；采用微处理机控制内燃机，使之在较佳工况下运转；加强结构强度的研究，以提高工作可靠性和寿命，不断创制新型内燃机变气门，变升程，变相位，甚至停掉几个缸的技术，都没能做到在行进中连续变缸径，但有等效的。