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Alcatel ATH1300M法国阿尔卡特磁悬浮分子泵维修,Alcatel ATH1300MT阿尔卡特分子泵进气法兰口DN250ISO-K/DN250CF,出气法兰口DN40 ISO-KF,抽速可达到1350 L/s,极限压力6.10-6 mTorr/8.10-9 mbar
真空泵易漏气的部位有:焊缝起焊及收焊部位,两条焊缝交叉点,波纹管焊接部位,管接头焊缝,受运动影响的钎焊焊缝。法兰密封或动密封处,如果安装前仔细清洗,装配合理,这种部位不易漏气。金属一陶瓷、金属一玻璃封接处,如引出电极、规管的高压引线,Alcatel二手分子泵维修商家,管脚,管帽等处。受冷、热冲击影响的焊缝。Alcatel ATH1300M维修
由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵,通常压缩比很低,故中、高真空罗茨泵需要前级泵。因此,罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外,还取决于前级泵的极限真空度。Alcatel ATH1300M维修
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含加热模块的磁悬浮分子泵主要用于半导体制造设备,在集成电路刻蚀等工艺过程中,部分工艺气体容易冷却凝结,附着在分子泵转子及内壁,造成分子泵转子不平衡量增大或抽气通道阻塞,影响分子泵的稳定运行。加上加热模块可以适当提高泵体温度,降低工艺气体凝结,提高分子泵稳定性及寿命。 磁悬浮涡轮分子泵维修
我们所称呼的“质谱仪单元”是氦气检漏仪的核xin部分。气体从检漏 仪的入口被导入质谱仪单元。在这里用高能量的电子束对带电的气 体粒子进行撞击 电子束利用金属丝在高温下产 生。如果中性气体粒子层的电子被撞击,它会从电子层脱出。结 果,带正电的气体粒子—离子—留了下来。大部分导入的气体粒子被电子之间的碰撞电离。 磁悬浮涡轮分子泵维修
分子泵的工作区间是有限制的,*大启动压强也要在100pa,直接大气启动只会长期处于过载状态运行,并无抽气效果。 磁悬浮涡轮分子泵维修
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旋片式真空泵可以抽除密封容器中的干燥气体,若附有气镇装置,还可以抽除一定量的可凝性气体。但它不适于抽除含氧过高的,对金属有腐蚀性的、对泵油会起化学反应以及含有颗粒尘埃的气体。真空泵养护维修
旋片式真空泵是真空技术中zui基本的真空获得设备之一。旋片泵多为中小型泵。旋片式真空泵有单级和双级两种。所谓双级,就是在结构上将两个单级泵串联起来。一般多做成双级的,以获得较高的真空度。真空泵养护维修
真空泵高温的益处
(1)由于轴流风机转速高,风压风量大,冷却效果大大增强,在相同的环境温度、负荷电流下,真空泵主电机温度下降了12℃。夏季主电机温度未再超限。
(2)减缓了主电机的绝缘老化速度,延长了其使用寿命。
(3)轴流风机可人为控制,主电机停运后,轴流风机仍可运行,可以使主电机得到充分冷却。
(4)电压调整后,隔膜泵运行电流降为210A,发热量相对减小。
(5)尽量使2段母线负荷分配平衡,以防某段母线因负荷过重造成电压下降过多。真空泵养护维修
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