高纯六氟化硫
用途：在半导体生产中用作高密度等离子刻蚀的氟源，不会产生含碳副产品；
变压器中的绝缘介质；
金属冶炼中的保护气氛；
六氟化硫断路器、互导传感器、六氟化硫避雷针的灭弧气体
电子级高纯六氟化硫作为一种理想的电子蚀刻气体，广泛应用于微电子技术领域
作为光导纤维制造中的单膜光纤隔离层掺杂剂
作为大气污染监测和水文地质检测领域的示踪剂
肝i脏肿i瘤的超声造影检查的造影剂也作为六氟化硫的用途
气体产品大至可以分为两大类别，即一般工业气体和特种气体。一般工业气体是指经过空气分离设备制造的普通级的氧气和氮气、经过焦炉气分离或电解等方法制造出来的普通纯度的其它种类气体。工业气体一般要求生产量大，但对气体的纯度要求不高。特种气体则是用途有别于一般气体的气体。它在纯度、品种、性能等方面都是严格按照一定规格进行生产和使用的。特种气体因种类 很多，山东特种气体，又可以分为三类，即高纯气体、标准气体和电子特种气体。
1、高纯气体
高纯气体通常指利用现代提纯技术能制取的某个纯度等级的气体，特种气体行业，纯度等级可以不同。
2、一般混合气体
由两种以上气体混台配制而成的气体，而且主要标出大致浓度，即可满足使用要求，这种气体称为一般混合气体。
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