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广州潽拓光电科技有限公司是进口真空泵供应商，为客户24小时提供技术支持及售后维保服务，包括磁悬浮分子泵、高真空分子泵、分子泵、隔膜真空泵、涡旋分子泵，涡轮分子泵、超高真空泵、复合分子泵等。

 皮拉尼真空计测量范围一般为5x10-4~1000mbar。一般用于各种高真空泵的前级压力测量，如光伏、镀膜、等离子行业等，也用于各种中低真空测量。

使用氦质谱检漏仪必须注意以下几点：

不要随意拔出配管：氦质谱检漏仪处于加压状态，禁止拔出连接仪器和减压阀之间的配管接头。不然大量的压缩空气被吹出，会对人体有害。不得挤压：不得cai踏仪器或坐在仪器上，不得将其它物品放置在仪器上。

如何选择检漏方法

一般根据被检测产品时间、使用工况来选择检漏方法，氦检漏设备尽可能模拟被检件实际工作环境才能:

大程度保证检测可靠性，具体实施方案可与厂家沟通

氦质谱检漏是以氦作探索气体，对各种需密封的容器的漏隙进行快速定位和定量检测的理想方法。

氦质谱检漏法有优点在于：氦是惰性气体，对大气无污染，使用安全；氦原子质量小，黏度小，易渗透过可能存在的漏隙。氦气在大气中含量小（5ppm），不易受干扰。氦质谱检漏仪检测灵敏度高，充气柜真空箱测漏系统，速度快，适用范围广。

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分子泵在加速时功率较大，内部发热比较严重，频繁的启停（两次启动间隔<30分钟）会造成热量累积，使分子泵内部的温度过高，加剧轴承磨损。

氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型仪器灵敏度为lO-9～10-12Pam3/s，广泛地用于各种真空系统及零部件的检漏。双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较，本底噪声显著减小.其灵敏度可达10-14～10-15Pam3/s，适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。逆流氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局，inficon英福康真空计维修保养，被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位，因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点.适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏，其灵敏度可达10-12Pam3/s。氦质谱检漏仪

氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。逆扩散原理如图所示。逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。氦质谱检漏仪

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真空计(Vacuum Gauge)，又称规，是测量真空度或气压的仪器.一般利用不同气压下的某种物理效应的变化进压的测量.在科研和工业生产中广泛使用.按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可将主要的真空计分为三大类，分别是利用力学性能，利用气体动力学和利用带电粒子效应的真空计，皮拉尼真空计维修

皮拉尼真空计：它的原理是加热电阻丝，使电阻丝升温至需要的工作温度。由于气体粒子与电阻丝碰撞离开时会带走能量，电阻丝的温度会发生变化。热电阻丝的能量损失与其周围的气体浓度以及气体成份成比例关系。由此又衍生出两种类型的皮拉尼规，种是温度稳定，测量电压变化；第二种是电压稳定，测量温度变化。对电阻丝在不影响精度与速度的情况下加以保护，能够大大延长电阻丝的使用寿命，皮拉尼真空计维修

真空法氦质谱检漏：

采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。氦质谱检漏仪的示踪气体选用氦气，是因为氦气具有以下优良特性：①氦气在空气中的含量少，体积含量为5。按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。

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