灭菌特种气体的主要成分是环氧乙1烷(EO)又名氧化1乙烯，特种气体厂，环氧乙1烷可杀灭细1菌（及其内孢子）、霉菌及真1菌，因此可用于消毒一些不能耐受高温消毒的物品。硅片的蚀刻气体（特种气体）主要是氟基气体，特种气体批发，包括四氟化碳、四氟化碳/氧气、六氟化硫、六氟乙1烷/氧气、三氟化氮等。特种气体是电子工业，特别是大规模集成电路制造不可缺少的材料气体，该产业的发展应与集成电路产业发展同步或超前。特种气体的纯度朝高纯的方向发展是特种气体产业的一个必然方向，这就要求特种气体的分离技术不断进步以满足纯度的要求。
20 世纪 80 年代，武汉特种气体，电子产 业的兴起推动特种气体的需求提高，随着气体供应商供气模式的引入，国内 企业原有的气体车间、气体厂和供气站等纷纷发展为独立的气体公司，国内特种气体市 场逐步发展起来。特种气体的主要生产工序包括气体合成、气体纯化、气体混配、气瓶处理、气体充装、气体分析检测等步骤，其中气体的纯化、混配等是气体公司的竞争力。特种气体的储存注意事项：高压容器内，存有内容物时，无论内容量多少，在该容器储存场地2m内，严禁明火或放置燃、可燃物。场所的环境温度≤40℃为佳。
特种气体是指稀有气体或超高纯度（99.995% 以上）的气体。包括分析、医1药、电子及石油化工在内的许多行业都会受益于特种气体的性质，它有助于提高产量、优化性能以及降低成本。特种气体广泛应用于半导体制造行业，工业特种气体，是超大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可缺少的原材料，它们主要应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。电子工业是当今推动科技发展的高新技术产业，由于所用气体的品种多、质量要求高，为有别于其它领域应用的气体，人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体。
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